远程等离子体源（RPS）
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双频匹配器
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参数
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- 吉兆源品牌
- DM型号
天津 滨海新区
7天内发货
远程等离子体源（RPS）
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产品详情
DM系列双频匹配器
产品性能：
该匹配器能够提供快速、准确和可靠的阻抗变换。可变电容由电机驱动，电机通过计算主板控制。
采用高速的匹配算法，可以调节电机的转速，即使是高Q值的系统也能达到准确的匹配效果。
通过调整内部继电器,调节不同档位,达到匹配。
应用对象：
该双频匹配器主要应用对象包括：刻蚀、PECVD系统
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在线问
产品参数
- 否
- 吉兆源
- DM
- 电源匹配器
- 射频电源
- 5A
- 24V,±10%
- 是
