科晶OTF-1200X-III-R5-PECVD 5英寸三温区等离子增强粉体回转炉系统

科晶OTF-1200X-S-II-4CV-PE 1200摄氏度等离子增强HPCVD回转炉系统面议

科晶DSH-50-10 水分仪面议

科晶TF-1200X-PESDFG-50 双炉体滑动PECVD系统循环手套箱面议

科晶OTF-1200X-III-HVC 三温区二通道混气真空CVD系统面议

科晶CT-4008T-5V20mA 8通道测试仪面议

科晶OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 1200摄氏度等离子增强小型PECVD回转炉系面议

性能指标和基本配置
结构特点	● 炉体可在0 ~ 25°内倾斜有利于粉末样品的装卸　　● 300W射频电源（13.56MHz）可实现等离子增强从而*降低实验温度　　● 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性　　● 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行的调控　　● 配备自动进出料系统可实现连续生产，可*在气氛保护环境下进行粉体的进给以及收集
三温区回转炉	● 温度：1200oC(<1h) 连续工作温度：1100℃ 　　● 三个PID温度控制器以及30段可编程温控系统，控温精度：±0.1℃ 　　● 输入功率：208-240V，单相，功率：4KW 　　● 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗　　● 回转炉旋转速度：2-10rpm 　　● 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管　　● 三温区：152mm+304mm+152mm，总温区长度为609mm 　　● 恒温区长度：480mm(三温区设置为同样温度时，±2℃)
等离子射频电源	● 输出功率：5-300W可调（稳定性：±1%）　　● 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%) 　　● 反射功率：100W 　　● 匹配：自动匹配　　● 射频输出端口：50Ω、N型　　● 噪音：＜50dB 　　● 冷却: 空气冷却　　● 电源: 208 -240VAC, 50/60Hz
石英管	● 标准5英寸高纯异形石英管　　● 两端直径为60mm,中间直径为127mm
密封法兰	● 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）　　● 磁流体密封旋转接头安装在两端***旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕
旋转速度	2-10rpm可调
炉体可倾斜角度	0~30°
真空泵及真空表	● EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中，请点击图片了解详细参数　　● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵　　● 真空度可达10-2Torr 　　注：可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量
4通道质子流量计控制系统	4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的控制（度：±0.02%）　　流量范围: 　　● 一路: 0~100 SCCM 　　● 二路: 0~200 SCCM 　　● 三路: 1~200 SCCM 　　● 四路: 1~500 SCCM 　　● 电压：208-240V AC 50/60Hz 　　气体进出口配件：　　● 6mmOD的聚四氟管或不锈钢管　　● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出　　● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
容积式进料器	● EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器，包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理　　● 2L不锈钢收集桶安装在右侧，可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集（标配中包含）
温度控制	● 2个温区分别由2个独立的温控系统控制　　● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序　　● 采用K型热偶，控温精度+/- 1℃ 　　● RS485通信端口。
产品尺寸	2800mm L x 800mm W x 1700mm H，供气系统：60600mmL x 700mm W x 700mm H
产品重量	180kg
应用注意事项	●炉管内气压不可高于0.02MPa 　　●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全　　●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击　　●石英管的长时间使用温度＜1100℃ 　　●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以***单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
保修期	一年保修，终身技术支持。　　特别提示：　　1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。　　2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。　　点击查看售后服务承诺书。
免责声明	本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您见谅。

性能指标和基本配置

结构特点

　　● 炉体可在0 ~ 25°内倾斜有利于粉末样品的装卸

　　● 300W射频电源（13.56MHz）可实现等离子增强从而***降低实验温度

　　● 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性

　　● 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行的调控

　　● 配备自动进出料系统可实现连续生产，可***在气氛保护环境下进行粉体的进给以及收集

三温区回转炉

　　● 温度：1200oC(<1h) 连续工作温度：1100℃

　　● 三个PID温度控制器以及30段可编程温控系统，控温精度：±0.1℃

　　● 输入功率：208-240V，单相，功率：4KW

　　● 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗

　　● 回转炉旋转速度：2-10rpm

　　● 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管

　　● 三温区：152mm+304mm+152mm，总温区长度为609mm

　　● 恒温区长度：480mm(三温区设置为同样温度时，±2℃)

等离子射频电源

　　● 输出功率：5-300W可调（稳定性：±1%）

　　● 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%)

　　● 反射功率：100W

　　● 匹配：自动匹配

　　● 射频输出端口：50Ω、N型

　　● 噪音：＜50dB

　　● 冷却: 空气冷却

　　● 电源: 208 -240VAC, 50/60Hz

石英管

　　● 标准5英寸高纯异形石英管

　　● 两端直径为60mm,中间直径为127mm

密封法兰

　　● 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）

　　● 磁流体密封旋转接头安装在两端***旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕

旋转速度

　　2-10rpm可调

炉体可倾斜角度

　　0~30°

真空泵及真空表

　　● EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中，请点击图片了解详细参数

　　● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵

　　● 真空度可达10-2Torr

　　注：可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量

4通道质子流量计控制系统

　　4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的控制（度：±0.02%）

　　流量范围:

　　● 一路: 0~100 SCCM

　　● 二路: 0~200 SCCM

　　● 三路: 1~200 SCCM

　　● 四路: 1~500 SCCM

　　● 电压：208-240V AC 50/60Hz

　　气体进出口配件：

　　● 6mmOD的聚四氟管或不锈钢管

　　● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出

　　● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置

容积式进料器

　　● EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器，包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理

　　● 2L不锈钢收集桶安装在右侧，可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集（标配中包含）

温度控制

　　● 2个温区分别由2个独立的温控系统控制

　　● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序

　　● 采用K型热偶，控温精度+/- 1℃

　　● RS485通信端口。

产品尺寸

　　2800mm L x 800mm W x 1700mm H，供气系统：60600mmL x 700mm W x 700mm H

产品重量

　　180kg

应用注意事项

●炉管内气压不可高于0.02MPa

　　●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全

　　●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

　　●石英管的长时间使用温度＜1100℃

　　●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

质量认证

　　所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以***单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

保修期

一年保修，终身技术支持。

　　特别提示：

　　1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

　　2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

　　点击查看售后服务承诺书。

免责声明

本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您见谅。

性能指标和基本配置
结构特点	● 炉体可在0 ~ 25°内倾斜有利于粉末样品的装卸　　● 300W射频电源（13.56MHz）可实现等离子增强从而*降低实验温度　　● 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性　　● 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行的调控　　● 配备自动进出料系统可实现连续生产，可*在气氛保护环境下进行粉体的进给以及收集
三温区回转炉	● 温度：1200oC(<1h) 连续工作温度：1100℃ 　　● 三个PID温度控制器以及30段可编程温控系统，控温精度：±0.1℃ 　　● 输入功率：208-240V，单相，功率：4KW 　　● 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗　　● 回转炉旋转速度：2-10rpm 　　● 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管　　● 三温区：152mm+304mm+152mm，总温区长度为609mm 　　● 恒温区长度：480mm(三温区设置为同样温度时，±2℃)
等离子射频电源	● 输出功率：5-300W可调（稳定性：±1%）　　● 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%) 　　● 反射功率：100W 　　● 匹配：自动匹配　　● 射频输出端口：50Ω、N型　　● 噪音：＜50dB 　　● 冷却: 空气冷却　　● 电源: 208 -240VAC, 50/60Hz
石英管	● 标准5英寸高纯异形石英管　　● 两端直径为60mm,中间直径为127mm
密封法兰	● 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）　　● 磁流体密封旋转接头安装在两端***旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕
旋转速度	2-10rpm可调
炉体可倾斜角度	0~30°
真空泵及真空表	● EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中，请点击图片了解详细参数　　● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵　　● 真空度可达10-2Torr 　　注：可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量
4通道质子流量计控制系统	4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的控制（度：±0.02%）　　流量范围: 　　● 一路: 0~100 SCCM 　　● 二路: 0~200 SCCM 　　● 三路: 1~200 SCCM 　　● 四路: 1~500 SCCM 　　● 电压：208-240V AC 50/60Hz 　　气体进出口配件：　　● 6mmOD的聚四氟管或不锈钢管　　● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出　　● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
容积式进料器	● EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器，包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理　　● 2L不锈钢收集桶安装在右侧，可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集（标配中包含）
温度控制	● 2个温区分别由2个独立的温控系统控制　　● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序　　● 采用K型热偶，控温精度+/- 1℃ 　　● RS485通信端口。
产品尺寸	2800mm L x 800mm W x 1700mm H，供气系统：60600mmL x 700mm W x 700mm H
产品重量	180kg
应用注意事项	●炉管内气压不可高于0.02MPa 　　●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全　　●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击　　●石英管的长时间使用温度＜1100℃ 　　●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以***单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
保修期	一年保修，终身技术支持。　　特别提示：　　1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。　　2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。　　点击查看售后服务承诺书。
免责声明	本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您见谅。

科晶OTF-1200X-III-R5-PECVD 5英寸 三温区等离子增强粉体回转炉系统

科晶OTF-1200X-III-R5-PECVD 5英寸三温区等离子增强粉体回转炉系统