科晶OTF-1200X-S-II-4CV-PE 1200摄氏度等离子增强HPCVD回转炉系统

科晶DSH-50-10 水分仪面议

科晶TF-1200X-PESDFG-50 双炉体滑动PECVD系统循环手套箱面议

科晶OTF-1200X-III-HVC 三温区二通道混气真空CVD系统面议

科晶CT-4008T-5V20mA 8通道测试仪面议

科晶OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 1200摄氏度等离子增强小型PECVD回转炉系面议

科晶MSK-DM-S1CH 单通道固体分配机面议

性能指标和基本配置
结构特点	● 炉体可在0 ~ 30°内倾斜有利于粉末样品的装入和取出　　● 300W射频电源可实现等离子增强从而***降低实验温度　　● 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性　　● 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行的调控　　● 集成在前端的带钨丝加热的坩埚舟可以对前驱体进行蒸发用于后续的混合物理化学气相沉积阶段
双温区回转炉	● 温度：1100oC(<1h) 连续工作温度：<1000℃ 　　● 两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统　　● 输入功率：208-240V，单相，功率：1.5KW 　　● 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗　　● 回转炉旋转速度：0-5 rpm 　　● 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管
等离子射频电源	● 输出功率：0-300W可调（稳定性：±1%）　　● 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%) 　　● 反射功率：100W 　　● 匹配：自动匹配　　● 射频输出端口：50Ω、N型　　● 噪音：＜50dB 　　● 冷却: 空气冷却　　● 电源: 110 -240VAC, 50/60Hz
蒸发舟	● 0.7mL氧化铝坩埚（由钨丝加热圈包围）　　● S型热电偶插入坩埚中实现对蒸发物料的测温　　● 温度可达1100℃，长期使用温度达1000℃
石英管	● 高纯异形石英管　　● 尺寸：两端：25 mm OD x 22 mm ID；中间：50mm O.D x 44mm I.D x 190mm L
密封法兰	● 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）　　● 磁流体密封旋转接头安装在两端***旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕
旋转速度	0-5rpm可调
炉体可倾斜角度	0~30°
真空泵	● 双级真空泵包含在设备中　　● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵
4通道质子流量计控制系统	4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的控制（度：±0.02%）　　流量范围: 　　● 一路: 0~100 SCCM 　　● 二路: 0~200 SCCM 　　● 三路: 1~200 SCCM 　　● 四路: 1~500 SCCM 　　● 电压：208-240V AC 50/60Hz 　　气体进出口配件：　　●6 mmOD的聚四氟管或不锈钢管　　● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出　　● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
温度控制	● 2个温区分别由2个独立的温控系统控制　　● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序　　● 采用K型热偶，控温精度+/- 1℃ 　　● RS485通信端口。
容积式进料器（可选）	EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器，包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理
尺寸和重量	● 2700mm L x 600mm W x 1250mm H 　　● 净重：90kg 　　● 运输重量:136kg
应用注意事项	●炉管内气压不可高于0.02MPa 　　●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全　　●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击　　●石英管的长时间使用温度＜1100℃ 　　●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以***单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
保修期	一年保修，终身技术支持。　　特别提示：　　1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。　　2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。　　点击查看售后服务承诺书。
免责声明	本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您见谅。

性能指标和基本配置

结构特点

　　● 炉体可在0 ~ 30°内倾斜有利于粉末样品的装入和取出

　　● 300W射频电源可实现等离子增强从而***降低实验温度

　　● 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性

　　● 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行的调控

　　● 集成在前端的带钨丝加热的坩埚舟可以对前驱体进行蒸发用于后续的混合物理化学气相沉积阶段

双温区回转炉

　　● 温度：1100oC(<1h) 连续工作温度：<1000℃

　　● 两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统

　　● 输入功率：208-240V，单相，功率：1.5KW

　　● 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗

　　● 回转炉旋转速度：0-5 rpm

　　● 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管

等离子射频电源

　　● 输出功率：0-300W可调（稳定性：±1%）

　　● 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%)

　　● 反射功率：100W

　　● 匹配：自动匹配

　　● 射频输出端口：50Ω、N型

　　● 噪音：＜50dB

　　● 冷却: 空气冷却

　　● 电源: 110 -240VAC, 50/60Hz

蒸发舟

　　● 0.7mL氧化铝坩埚（由钨丝加热圈包围）

　　● S型热电偶插入坩埚中实现对蒸发物料的测温

　　● 温度可达1100℃，长期使用温度达1000℃

石英管

　　● 高纯异形石英管

　　● 尺寸：两端：25 mm OD x 22 mm ID；中间：50mm O.D x 44mm I.D x 190mm L

密封法兰

　　● 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）

　　● 磁流体密封旋转接头安装在两端***旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕

旋转速度

　　0-5rpm可调

炉体可倾斜角度

　　0~30°

真空泵

　　● 双级真空泵包含在设备中

　　● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵

4通道质子流量计控制系统

　　4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的控制（度：±0.02%）

　　流量范围:

　　● 一路: 0~100 SCCM

　　● 二路: 0~200 SCCM

　　● 三路: 1~200 SCCM

　　● 四路: 1~500 SCCM

　　● 电压：208-240V AC 50/60Hz

　　气体进出口配件：

　　●6 mmOD的聚四氟管或不锈钢管

　　● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出

　　● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置

温度控制

　　● 2个温区分别由2个独立的温控系统控制

　　● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序

　　● 采用K型热偶，控温精度+/- 1℃

　　● RS485通信端口。

容积式进料器（可选）

　　EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器，包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理

尺寸和重量

　　● 2700mm L x 600mm W x 1250mm H

　　● 净重：90kg

　　● 运输重量:136kg

应用注意事项

●炉管内气压不可高于0.02MPa

　　●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全

　　●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

　　●石英管的长时间使用温度＜1100℃

　　●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

质量认证

　　所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以***单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

保修期

一年保修，终身技术支持。

　　特别提示：

　　1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

　　2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

　　点击查看售后服务承诺书。

免责声明

本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您见谅。

性能指标和基本配置
结构特点	● 炉体可在0 ~ 30°内倾斜有利于粉末样品的装入和取出　　● 300W射频电源可实现等离子增强从而***降低实验温度　　● 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性　　● 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行的调控　　● 集成在前端的带钨丝加热的坩埚舟可以对前驱体进行蒸发用于后续的混合物理化学气相沉积阶段
双温区回转炉	● 温度：1100oC(<1h) 连续工作温度：<1000℃ 　　● 两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统　　● 输入功率：208-240V，单相，功率：1.5KW 　　● 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗　　● 回转炉旋转速度：0-5 rpm 　　● 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管
等离子射频电源	● 输出功率：0-300W可调（稳定性：±1%）　　● 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%) 　　● 反射功率：100W 　　● 匹配：自动匹配　　● 射频输出端口：50Ω、N型　　● 噪音：＜50dB 　　● 冷却: 空气冷却　　● 电源: 110 -240VAC, 50/60Hz
蒸发舟	● 0.7mL氧化铝坩埚（由钨丝加热圈包围）　　● S型热电偶插入坩埚中实现对蒸发物料的测温　　● 温度可达1100℃，长期使用温度达1000℃
石英管	● 高纯异形石英管　　● 尺寸：两端：25 mm OD x 22 mm ID；中间：50mm O.D x 44mm I.D x 190mm L
密封法兰	● 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）　　● 磁流体密封旋转接头安装在两端***旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕
旋转速度	0-5rpm可调
炉体可倾斜角度	0~30°
真空泵	● 双级真空泵包含在设备中　　● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵
4通道质子流量计控制系统	4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的控制（度：±0.02%）　　流量范围: 　　● 一路: 0~100 SCCM 　　● 二路: 0~200 SCCM 　　● 三路: 1~200 SCCM 　　● 四路: 1~500 SCCM 　　● 电压：208-240V AC 50/60Hz 　　气体进出口配件：　　●6 mmOD的聚四氟管或不锈钢管　　● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出　　● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
温度控制	● 2个温区分别由2个独立的温控系统控制　　● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序　　● 采用K型热偶，控温精度+/- 1℃ 　　● RS485通信端口。
容积式进料器（可选）	EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器，包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理
尺寸和重量	● 2700mm L x 600mm W x 1250mm H 　　● 净重：90kg 　　● 运输重量:136kg
应用注意事项	●炉管内气压不可高于0.02MPa 　　●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全　　●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击　　●石英管的长时间使用温度＜1100℃ 　　●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以***单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
保修期	一年保修，终身技术支持。　　特别提示：　　1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。　　2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。　　点击查看售后服务承诺书。
免责声明	本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您见谅。