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硅晶片晶圆片切割精度±20μm华诺加工激光开孔划线

2022-11-21来源:供应商网作者:天津华诺普锐斯科技有限公司责任编辑:李萧

硅晶片晶圆片切割精度±20μm华诺加工激光开孔划线

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华诺激光加工玻璃打孔 孔径范围 ≥0.05mm 材质厚度 0.1--3mm 玻璃打孔面积大小 100*200mm 精度 ±0.02mm 甭边量 ≤0.15mm .

晶圆的主要加工方式为片加工和批加工,即同时加工1 片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小,加工及测量设备越来越***,使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时,特征尺寸的减小,使得晶圆加工时,空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大,而随着洁净的提高,颗粒数也出现了新的数据特点。

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