全氟橡胶 FFKM (Perfluoroelastomer) 密封圈材质分类对照及优缺点

　　优点： 

　　耐热特性

　　优异的抗化学特性 

　　低Outgassing 特性 

　　优异之抗Plasma特性 

　　缺点： 

　　耐低温特性较差

　　原料价格较高 

　　生产难度较高 

　　全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。