到货爱发科ULVAC热阴极电离真空计SH200-A

到货爱发科ULVAC热阴极电离真空计SH200-A

|特点

1、可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据;
2、小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一；
3、操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设***设置、状态确认等；
4、更强大的产品阵容：除模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）；
5、灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～5×10-8Pa）（选配SWU10-R的情况下）；
6、可以***的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）

|用途

1、用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控，包括半导体和电子元件；

2、用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量，例如in-line式和枚叶式；

3、高真空・超高真空设备的压力测量。