DL DC电源(HX / GX)可通过接口X4P与双极脉冲发生器(SB)结合使用，涂层设备可以灵活地使用DC或交流电运行。主/从或并行操作中的几个单元的同步可达240 kW。紧凑的19英寸设计使直接安装在真空室成为可能。

德国ADL双极脉冲发生器介绍

1. ADL双极脉冲发生器GXB 50高达5千瓦

双极脉冲发生器GXB 50产生方波

两个阴极之间等离子体激发的交流电压。已经集成了5 kW-DC电源，因此不需要外部DC电源。发电机以22.5千赫的固定频率工作。脉冲开启时间和脉冲关闭时间是自动控制的，而不是预设为确定的参数。一个特殊的电流比控制器计算两个半波的功率，并根据脉宽调制(PWM)以预定义的比例调节它们。双极脉冲发生器配有自动消弧功能。跳闸级别和中断时间的参数会根据具体流程自动调整。

特点：

输出功率5千瓦，交流电

DC和脉冲发生器合二为一

电流比率控制器

自动电弧处理

水冷

紧凑的设计，19英寸外壳，3 HU

2. ADL双极脉冲发生器SB 150和SB 300高达35千瓦

该发生器既可用作中频发生器来产生对称交流电流，也可用作双极脉冲发生器来产生不对称方波脉冲。通过特殊的功率比控制器，双磁控管可以***对称。此外，也可以用不对称脉冲功率控制两种不同的靶材料。功率比控制器通过脉宽调制(PWM)自动设置脉冲时间。这些装置以20千赫的固定频率工作。发电机有自动消弧功能。跳闸级别和中断时间的参数会根据所选的流程自动调整。不需要用户编程。对于自动同步，可以通过控制电缆连接多台发电机。这种情况下，脉冲发生器自动切换到外部同步。

3. ADL双极脉生器HXB 900 - HXB 1400高达140千瓦

中频/双极脉冲发生器HXB 900–HXB 1400在一个稳定的机柜中结合了大功率、紧凑的设计和快速的电弧抑制。这种双极性脉冲发生器是为长达4米的阴极反应涂层工艺而设计的。阴极功率的自动对称化和不对称脉冲功率的功率比控制器(高达10: 90 %)优化了涂层质量并延长了靶寿命。发电机自动识别所有相关过程参数，并不断调整其电弧检测和电弧抑制。要开始操作或进行目标更改，不需要手动进行任何调整。

德国冲发ADL双极脉冲发生器介绍