供应微差压压力报警器-锅炉微差压报警器-风机管道微差压压力报警
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质量流量控制器（MFC-500B系列）
优点：高性价比
响应速度快：小于2秒
***的可靠性：使用一年以上，零点漂移小于满量程的0.5%
易于集成：标准接头和尺寸
***的效果：高品质膜层与蚀刻特性
特性
非金属密封
VCR连接
量程范围从10SCCM到150SLM
常闭或常开式电磁阀
允许清洗流量：高达校准值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
主要技术指标
1 | 量程范围 | （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM |
2 | 准确度 | +1.0%F.S |
3 | 线性 | +0.5~1.5%F.S |
4 | 重复精度 | +0.2%F.S |
5 | 响应时间 | 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec |
6 | 工作压差 | （0.1~0.5）MPa |
7 | 耐压 | 3MPa |
8 | 工作环境温度 | 0~70℃ |
9 | 数字量 | RS485 MODBUS协议 |
10 | 模拟量 | DC 0~5V ，4~20mA 可选 |
11 | 供电 | DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 电气连接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10 -8SCCSHe |
14 | 底座材质 | 316L不锈钢 |
15 | 密封材质 | 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶 |
16 | 气路接头 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
注意:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)
标准状态规定为： 温度-----273.15K (0℃);
气压-----101325 Pa （760mm Hg）
F.S (Full Scale); 满量程值
气体质量流量控制器***的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。
注：可根据不同客户的需求定制各种规格的气体质量流量计和流量控制器带显示带调节等功能
成都维克安科技有限公司 吴经理15882015767
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