红宝石探针头系列 红宝石探测器 红宝石探针头 红宝石探测仪(A级) 型号:DP-KDT
一、特点
1、 使用几何尺寸十分***的红宝石轴套,确保探针间距的恒定、准确。
2、 控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6μm,***探针的小游移率。
3、 采用***的S型悬臂式弹簧,使每根探针都具有独立、准确的压力。
4、 量具精度的硬质合金探针,在宝石导孔内稳定运动,持久耐磨。
二、用途
1、 测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率,测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。
2、 测量导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻。
三、探针间距
1、 直线四探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
2、 方形四探针…………… 1.00mm
3、 直线三探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
4、 两探针 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
四、技术指标
1、 游移率
B级…………… <0.5%
A级……………<0.3%
***………… <0.2%
***…………<0.1%
2、 间距偏差
B级…………… <3%
A级…………… <2%
***………… <2%
***………… <1%
3、 针与导孔间隙:0.006mm
4、 探针材料:硬质合金(主成份:进口碳化钨)或高速钢
5、 探针压力 标准压力:6—10N(4根针总压力)
小压力:1.2—5N(4根针总压力)
1牛顿(N)=101.97克
6、 针尖压痕直径:25—100μm、100—250μm(簿层)
7、 500V绝缘电阻:>1000MΩ
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