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晶圆激光切割机

参数
  • 光纤产品特性
  • 加工定制
  • 化合物半导体种类
上海 奉贤区 30天内发货 999套
上海微世半导体有限公司
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产品详情

激光晶圆切割机,选用工业激光器作为光源,辅以直线电机工作台及直驱旋转平台、CCD影像监视定位、对半导体晶圆进行切割。
红外激光晶圆划片机技术参数
激光器:光纤激光器
激光波长:1064nm
额定功率:20W@20KHz
直线电机工作台定位精度:2um
直线电机工作台有效行程:300mmх300mm
CCD定位精度:5um 
最小切割线宽:0.020mm
旋转范围: 360 度
旋转精度:0.0001度
紫外激光晶圆切割机

应用于硅晶圆、Ⅲ-Ⅴ族晶圆、LOW-K材料的D&B开槽和切割,
适用于双台面玻璃钝化可控硅体晶圆的划片和切割。
 
紫外激光晶圆划片机技术参数
激光器:调Q半导体泵浦紫外激光器
激光物质:Nd:YVO4
激光波长:355nm
额定功率:5W@30KHz
直线电机工作台定位精度:2um
直线电机工作台有效行程:300mmх300mm
CCD定位精度:5um 
最小切割线宽:0.020mm
旋转范围: 360 度
旋转精度:0.0001度

 


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