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CDG025D 电容薄膜规 10 Torr; DN16***-KF（377-001）

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参数

高精度产品特性
INFICON品牌
CDG025D型号

发货地浙江杭州不限供货总量30

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产品详情

环境电容膜片真空计

SKY® CDG025D、CDG025D-S

INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补

偿型压力计，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。***

的数字电子设备提高了真空计的性能并具有易于操作的特

点，如一键调零功能和设***调整。抗腐蚀性的超纯陶瓷

传感器具有***的零点稳定性和预计数百万次压强周期

(包括大气冲击)的长使用寿命。独特的传感器屏蔽(***

申请中)保护真空计免受过程污染。坚固耐用的机械设计

和数字电子设备改善了EMC兼容性、长期稳定性和温度补

偿。CDG025D为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的

快速恢复等特性设定了新标准。

优势

• 全刻度范围，100毫托 … 1000托

• 电源接通后的快速稳定性

• 暴露大气压后的快速恢复性

• 防腐陶瓷传感器

• ***的长期信号稳定性

• 温度补偿

• 传感器防污染保护

• 一键调零功能

• 宽范围电源

• 2个设***(选配)

• RS232接口(选配)

应用范围

• 用于蚀刻、CVD、PVD、ALD的半导体制造设备

• 数据存储及显示制造设备

• 工业真空设备

• 常规高精度压力测量

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产品参数

产品特性高精度
品牌INFICON
型号CDG025D
系列CDG
标称容量全刻度范围，100毫托 … 1000托
介电材料防腐陶瓷传感器
容差温度补偿

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CDG025D 电容薄膜规 10 Torr; DN16***-KF（377-001）: ¥面议