选型
校正漏孔(薄膜型)
CLM-08F
ULVAC
薄膜型校正漏孔。
在充满了氦气的容器的中心部分内置玻璃管(透过材料),利用氦气透过那个玻璃管的校正漏孔。
规格
品名 | 薄膜型校正漏孔 | 泄露量 | 封入圧力 |
型号 | CLM-07AY | 10-7Pa・m3/s台 | 261kPa(abs)※1 |
CLM-07V | |||
CLM-08A | 10-8Pa・m3/s台 | 251kPa(abs)※1 | |
CLM-08C | |||
CLM-08D | |||
CLM-08E | |||
CLM-08F | |||
CLM-08V | |||
CLM-09AZ | 10n-9Pa・m3/s台 | 261kPa(abs)※1 | |
CLM-10A | 10-10Pa・m3/s台 | 101kPa(abs)※1 |