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天铉真空计MKS流量计控制器MFVC-34785/29886

参数
  • 真空产品特性
  • BALBOA品牌
  • MFVC-34785/29886型号
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深圳市天铉真空技术有限公司
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  • MFVC-34785

MFVC-34785/29886深圳市天铉真空技术有限公司

LV-F20 (PO/MO)LV-F30 (PO/MO)LV-F40 (PO/MO)LV-F50 (PO/MO)LV-F60 (PO/MO)

全标度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

检测控制范围

5 *** F.S.





对象液体种类 *1

可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。





液体粘度 *2

很大值. 0.01 Pa·s (10cp)





精度 *3

±1% F.S.





直线性 *3

±0.5% F.S.





重复性 *3

±0.5% F.S.





响应精度

3秒以内 (T98)

2秒以内 (T98)




使用环境温度 *4

5 50℃ (15 45℃精度的确保)





温度影响Span

±0.1%F.S./℃很大值±1%





工作差压值 *5

0.05 0.3MPa





耐压

1MPa





压力损失





流量设定信号

模拟:0.25 5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式:RS485(F-Net通信协议)





流量输出信号

模拟:0 5 VDC(很小负荷电阻2kΩ) 数字式:RS485(F-Net通信协议)





驱动电源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA





外部泄漏规格

PO 类型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO 类型: 5×10-12Pa•m3/s (He)





接液部材质

PO 类型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 类型: SUS316L,Ni





标准接头

1/16” , 1/8” SWL类型, 1/8” VCR 类型

1/8 SWL类型,

 1/8”VCR 类型

1/4” SWL类型

1/4” VCR 类型



*1:LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先***所使用 的液体。)


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