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参数
- 聚丙烯工件材质
- 旋涂机类型
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产品详情
德国SPS-POLOS旋涂机SPIN200i为小批量生产而设计
POLOS 为半导体、生命科学、食品、实验室和制药行业提供高端设备，特别是为大学、研发机构和小型生产设施提供支持。我们的产品组合包括用户友好和高度耐用的系统，主要应用于光刻和配置工艺领域。POLOS 公司成立于 2003 年，***条产品线是单晶片旋转涂层系统。
主要产品：
SPS-POLOS旋涂机
SPS-POLOS匀胶机
SPS-POLOS光刻机
SPS-POLOS Spin200i旋涂机
POLOS Spin200i 是一种多功能、高质量的基材旋涂机，由 PTFE 或 NPP 制成。它专为研发和小批量生产而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学品。
适用于镀膜、清洁、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 及其他工艺。
适用于 8 英寸（200 毫米）晶圆
适用于 6 英寸 x 6 英寸（150 毫米）基板
材料 天然聚丙烯 (NPP)
12.000 RPM（取决于基底/卡盘）
高加速度和高精度
手动化学品分配
CW 和 CCW 旋转
带可定制图标的彩色触摸屏
USB 端口
型号示例：
SPS-POLOS旋涂机SPIN150X
SPS-POLOS旋涂机SPIN200i
SPS-POLOS旋涂机SPIN4000A
SPS-POLOS旋涂机SPIN5000A
德国SPS-POLOS旋涂机SPIN200i为小批量生产而设计
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产品参数
- 聚丙烯
- 旋涂机
- 1-3天
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- 5000
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