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AWM5103VA
概述
AWM5000 系列气体质量流量传感器， 放大， 流量/压力范围：0 SLPM 至 15.0 SLPM; threaded port style，¼ NPT。
同轴流量测量
AWM5000 系列微桥气体质量流量传感器采用文丘里管型流量外壳。They measure flow as high as 20 standard liters per minute (SLPM) while inducing a maximum pressure drop of 2.25" H2O. The microbridge chip is in direct contact with the flow stream, greatly reducing error possibilities due to orifice or bypass channel clogging.
坚固、通用的封装
坚固的塑料封装被设计为能承受 50 psi 的共模压力，且小型传感元件能承受 100 g 的冲击，而不会影响性能。所配备的“AMP”兼容连接器能在要求严苛的应用中提供十分可靠的连接。
内置信号调节
每个 AWM5000 传感器都包括可执行放大、线性化、温度补偿和气体校准的电路。无论流量范围 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校准气体（氮气、二氧化碳、一氧化二氮或氩气）如何，所有产品都可能达到 1 至 5 Vdc 的线性输出。主动激光可进行所有校准
警告
产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。
不遵守这些说明可能会导致产品受损。
技术规格
| 系列名称 | AWM5000 |
| 流量/压力范围 | 0 SLPM 至 15.0 SLPM |
| 整个温度范围内的零位 | 典型值 ±0.050 Vdc，值 ±0.20 Vdc |
| 可重复性 | ±0.50% 读数 |
| 响应时间 | 值 60 ms |
| 信号调节 | 放大 |
| 调整点的输出电压 | 5.0 Vdc at 15 SLPM |
| 输出温漂 | ±7% 读数 |
| 零位 | 最小值 0.95 Vdc，典型值 1 Vdc，值 1.05 Vdc |
| 电源电压 | 最小值 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，值 15.0 Vdc |
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