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DDB-701型6英寸光刻机 高精度紫外光刻系统 小批量研发型光刻设备

参数
  • 光刻机产品特性
  • 加工定制
  • 田野仪器品牌
广东 深圳 12天内发货 2台
深圳市田野仪器有限公司 2年
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产品详情

桌面无掩模(直接曝光)光刻系统,通过其复杂的软件支持简单的光刻操作。

桌面台式无掩模光刻系统 电动 PALET DDB-701-DL,桌面台式无掩模光刻系统 电动 PALET DDB-701-DL

 

 

产品特点

硬件特性

小型化

内置隔振机构和真空吸油泵

只需要电源和光刻间

软件特性

用户方便型接口

简易流程

支持对准和暴露条件检查*限制电动载物台模型

型号

DDB-701-MS

DDB-701-DL

载物台(Stage)

手动 XYZθ载物台

电动 XYZθ载物台

曝光光源

365nm (typ.) LED


Min. 线宽

3μm *1
15μm *2


单次曝光面积

1mm×0.6mm *1
5mm×3mm *2


每张照片曝光时间*3

1~2 sec. *1
15~30 sec. *2


Max. 曝光区域

25mm×25mm(手动连接)

25mm×25mm(自动连接)

可接受的工作尺寸

60mm ×60mm (t3mm)


相容文档格式

DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS


主体尺寸

300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)


主机重量

30kg


*1在使用×10物镜的情况下

*2在使用×2物镜的情况下

*3曝光时间基于AZP系列光刻胶(t0.5mm)

日本无掩膜光刻机 研发及小批量订单利器



 

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