二手光驰OTFC-1300 OTFC-1550带涉频源镀膜机
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二手日本光驰OTFC-1300半导体行业 滤光片 光学玻璃专用镀膜机
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设备介绍
二手日本光驰OTFC-1550镀膜机 光学机 电镀机配置表：OTFC-1550光驰镀膜机(年份: 2016. 11)
日本电子16F双枪，23寸光驰RF离子源
275机械泵+爱德华配套罗茨泵
HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪
XTC/3+6点式水晶传感器 在线使用中的设备 此设备保养好 日本原装 含安装调试免费教工艺。
厂商 | OPTORUN | OPTORUN | SHINCRON |
型号 | OTFC1300C | OTFC1300DB | BMC1300DDI |
序列号 | S0019 | S0567 | 980051 |
电子枪（双电子枪有无） | JST-10F-2GUN | JST-10F-2GUN | JST-10F-2GUN |
坩埚点数 | 24点+28点 | 24点x2 | |
旋转泵 | VS2401 | MTR | |
机械升压泵 | EH500 | MTR | |
扩散泵 | 冷冻U20Px2台 | 22’x2台 | 28’x2台 |
冷冻机 | 无 | Polycold PFC-670HC | Polycold PFC-550HC |
离子枪（射频离子源） | 有 | 无 | RIS-1200-2 |
光学检测有无（光控/精控） | 有 | 有 | 有 |
基板加热heater有无 | 有 | 有 | 有 |
回转 | 中心回转 | 中心回转 | 中心回转 |
镀膜机设备清单
| 镀膜机清单 | |
| 品牌 | 规格（MM） |
| 日本光弛 | 1300.1550.2350 |
| 日本新科隆 | 1350 |
| 韩国韩一镀膜机 | 900.1200.1600.2050 |
| 韩国联合镀膜机 | 1650.205 |
| 莱宝镀膜机 | APS1100 |
| 台湾龙翩 | 1400.1650.1800 |
| 成都南光 | 1100 1300 |
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