德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i 易于安装、可重复的旋涂高校使用
一、产品介绍
POLOS单晶圆旋涂机SPIN150i分为:天然聚丙烯
聚四氟乙烯两种材质
高品质旋涂机专为MEMS,半导体,PV,微流体等领域的研发和小批量生产而设计。
Ø150 mm 或 4“ x 4” 方形基板
二、德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i 参数:
材料:天然聚丙烯(NPP)
POLOS SPIN150i是一款多功能的高质量基材旋涂机,由PTFE或NPP制成。它专为研发和小批量生产而设计。用于手动或自动(可选)化学品分配的桌面版本。
适用于涂层、清洁、漂洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 和其他工艺
1.2、德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i规格:
高达 6“ (150 mm) 晶圆
高达 4“ x 4” (100 mm) 方形基板
材料:天然聚丙烯(NPP)
通过大型彩色触摸屏进行简单的分步配方编程
带注射器支架的透明盖子,用于中央分配
电磁安全盖锁
N2扩散器,用于在过程中清除N2
12.000 rpm(取决于基板/卡盘)
高加速度和高精度
手动化学品分配
CW 和 CCW 轮换
三、POLOS SPIN150i NPP的供货范围:
POLOS SPIN150i NPP的供货范围:
内径 160 毫米的碗,适用于 6 英寸(150 毫米)晶圆, 4 英寸 x 4 英寸(100 毫米)基板,材料天然聚丙烯 NPP;
手动化学分配:实施盖子中的单注射器支架;
彩色触摸屏;
USB端口;
电缆;
吸盘和适配器:A-V36-S45-PP-HD 真空吸盘 + D-V10-S50-PP-HD - 碎片适配器;
一组腔体内衬。
四、SPS(POLOS)型号介绍
SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i
SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP
SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less)
SPS(POLOS) Part nr: 27852
SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)
德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i 易于安装、可重复的旋涂高校使用