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德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i 易于安装、可重复的旋涂高校使用

参数
  • SPS(POLOS)产品特性
  • 加工定制
  • SPS(POLOS)品牌
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北京汉达森机械技术有限公司 4年
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产品详情

德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i 易于安装、可重复的旋涂高校使用

一、产品介绍


POLOS单晶圆旋涂机SPIN150i分为:天然聚丙烯

聚四氟乙烯两种材质

高品质旋涂机专为MEMS,半导体,PV,微流体等领域的研发和小批量生产而设计。

Ø150 mm 或 4“ x 4” 方形基板

二、德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i 参数:

材料:天然聚丙烯(NPP)

POLOS SPIN150i是一款多功能的高质量基材旋涂机,由PTFE或NPP制成。它专为研发和小批量生产而设计。用于手动或自动(可选)化学品分配的桌面版本。

适用于涂层、清洁、漂洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 和其他工艺

1.2、德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i规格:

高达 6“ (150 mm) 晶圆

高达 4“ x 4” (100 mm) 方形基板

材料:天然聚丙烯(NPP)

通过大型彩色触摸屏进行简单的分步配方编程

带注射器支架的透明盖子,用于中央分配

电磁安全盖锁

N2扩散器,用于在过程中清除N2

12.000 rpm(取决于基板/卡盘)

高加速度和高精度

手动化学品分配

CW 和 CCW 轮换

三、POLOS SPIN150i NPP的供货范围:

POLOS SPIN150i NPP的供货范围:

内径 160 毫米的碗,适用于 6 英寸(150 毫米)晶圆, 4 英寸 x 4 英寸(100 毫米)基板,材料天然聚丙烯 NPP;

手动化学分配:实施盖子中的单注射器支架;

彩色触摸屏;

USB端口;

电缆;

吸盘和适配器:A-V36-S45-PP-HD 真空吸盘 + D-V10-S50-PP-HD - 碎片适配器;

一组腔体内衬。

四、SPS(POLOS)型号介绍

SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i 

SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP

SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less) 

SPS(POLOS) Part nr: 27852 

SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)  




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