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实验室管式炉管式退火炉管式炉青岛晨立真空炉

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参数

氧化退火产品特性
是加工定制
晨立品牌

发货地山东青岛 30天内发货供货总量99台

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产品详情

真空试验炉

设备用途：实验炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

主要技术参数：
◆工艺管数量：1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）

◆结构型式：卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音：≤62dB（A）震动：≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式：工业微机控制

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产品参数

产品特性氧化退火
加工定制是
品牌晨立
型号CL
用途扩散、氧化、退火、合金及烧结
规格卧式热壁型或立式
工艺管口径Φ90-360mm（3～12英寸）
工作温度范围400～1280℃
结构型式卧式热壁型
控制方式工业微机控制

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