SIC高温氧化炉-氧化扩散炉-科研电炉 晨立电子
¥79500.00
碳化硅氧化炉 真空退火炉 高温扩散炉 晨立电子
¥250000.00
- 商品
- 详情
高校扩散炉 高真空退火炉 真空炉 晨立电子 科研炉
- ¥15万 1台起批
- ¥14.9万 ≥2
参数
- 氧化扩散产品特性
- 是加工定制
- 晨立品牌
山东 青岛
60天内发货
99台
SIC高温氧化炉-氧化扩散炉-科研电炉 晨立电子
¥79500.00
碳化硅氧化炉 真空退火炉 高温扩散炉 晨立电子
¥250000.00
产品详情
设备用途：用于大规模集成电路、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指标：
炉管数：1～4管
配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)
恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
气体控制： 浮子/质量流量计
悬臂舟参数： 速度： 20～1000 mm/min 行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 载荷：17 Kg
超净工作台： 净化等级：100级（万级厂房）
噪音： ≤62dB（A）
振动： ≤3μm
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在线问
产品参数
- 氧化扩散
- 是
- 晨立
- CL4513
- 氧化、扩散、烧结、合金
- 1-4管
- 3-12英寸
- ≤7路
- ±1.0℃/24h
- 760～1000 mm±1.0℃
- 浮子/质量流量计
