美国Kimball Physics电子枪系统EFG-7 EGPS-1017 5 keV
描述
聚焦或均匀的广角低能电子束
10 eV 至 1500 eV
应用：
表面物理研究
真空物理实验
电荷中和
电子解吸
表面清理
荧光粉测试
电离实验
半导体加工
功能/选项：
参数可控性广
泛光光束或窄角光束
静电聚焦
偏转、光栅、脉冲
可拆卸喷枪
电脑 / 遥控器
能量范围：10 eV 至 1500 eV
光束电流/光斑尺寸：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1mm 至 100mm
安装：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸选项
特点/选项：窄角光束或泛光光束、静电聚焦、偏转、光栅、脉冲
Kimball Physics EFG-7 电子枪及其匹配的 EGPS-1017 电源旨在用于各种超高真空 （UHV） 物理实验、表面物理实验和加工应用。它是一个完整的子系统，随时可以连接和打开。光束能量、光束电流和光斑尺寸可在很宽的范围内独立调节。
EFG-7 电子枪使用难熔金属阴极产生均匀的泛光光束。枪式设计允许产生低能量和极低电流的光束。标准型号 EFG-7 可产生 1 nA 至 100 μA 的束流和 10 eV 至 1500 eV 的能量。高电流选项提供高达 1 mA 的光束电流。
居中、偏转、光栅和脉冲均作为选项提供。由于该设计已优化为泛洪枪，并使用圆柱形 4 极偏转器，因此当光束聚焦到一个小点时，偏转像差可能会很严重。
全程采用 UHV 技术。该喷枪可以在 10 级真空中运行-11torr 最多 10-5torr 用于标准 Ta 盘阴极。电子枪可在去除电缆后烘烤至 350°C。使用法拉第杯时，值为 65oC 除非被删除。
通过打开上方“资源”选项卡中的详细 EFG-7 / EGPS-1017 PDF 规格文档，了解更多信息。
