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四探针电阻率测试仪 KDY-1型双数字表 四探针电阻率/方阻测试仪

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四探针电阻率测试仪KDY-1型


1、概述

      KDY-1型四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。

      本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些薄层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。仪器配置了:小游移四探针头,探针游移率在0.10.2%。仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机可加配KDY测量系统,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算出硅片电阻率、径向电阻率的百 分变化、平均百 分变化、径向电阻率不均匀度,给测量带来很大方便。

2、主机技术能数

1)测量范围:

       可测电阻率:0.000119000Ω·cm

       可测方块电阻:0.001190000Ω/□

2)恒流源:

         输出电流:DC  0.001100mA   五档连续可调

       量程:0.0010.01mA、0.010.10mA、0.101.0mA、1.010mA、10100mA

         恒流精度:各档均低于±0.05%

3)直流数字电压表:

       测量范围:0199.99mV

       灵敏度:10μV

       基本误差:±0.004%读数+0.01%满度)

       输入阻抗:1000

4)测量精度:电器精度:11000欧姆≤0.3%

         整机测量精度:11000欧姆·厘米≤3%

5)供电电源:

         AC220V±10%    50/60Hz    功率:12W

6)使用环境:温度:23±2   相对湿度:≤65%

         无较强的电场干扰,电源隔离滤波,无强光直接照射

7)重量、体积:

         主机重量:7.5kg

         体积:365×380×160(单位:mm  长度×宽度×高度)

                 该仪器可选配KDY四探针测试系统连接计算机软件进行测量,测试结果简便,测量数据自动保存,可进行导出excel等操作,便于保存数据。


KDY四探针测试软件系统测量界面





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