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KDY-1A便携式电阻率测试仪 测量硅晶体薄硅片电阻率及方阻

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KDY-1A便携式电阻率测试仪(成套)


1、概述

  KDY‑1A便携式电阻率测试仪是用来测量硅晶块、晶片的电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。

本仪器按照半导体材料电阻率的国际及***测试方法有关规定设计。它主要由电器测量部份(主机)及四探针头组成,需要时可加配测试架。

为减小体积,本仪器用同一块数字表测量电流及电阻率。样品测试电流由高精度的恒流源提供,随时可进行校准,以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分选材料也可以用来作产品检测。对1~100Ω·cm标准样片的测量误差不超过±3%。

2、主要技术指标

(1)测量范围:

         可测量电阻率:0.01~199.9Ω·cm

         可测方块电阻:  0.1~1999Ω/□

         当被测材料电阻率≥200Ω·cm数字表显示0.00

(2)恒流源:

         输出电流:DC  0.1mA~10mA分两档

     1mA量程:0.1~1mA  连续可调

     10mA量程:1mA ~10mA连续可调

        恒流精度:各档均优于±0.1%

(3)直流数字电压表

         测量范围:0~199.9mv

         灵敏度:100μV 

         准确度:0.2%(±2个字)


(4)供电电源:

         AC:220V   ±10%     50/60HZ    功率8W

(5)使用环境:         

         相对湿度≤80%

(6)重量、体积

         重量:2.2Kg       

         体积:宽210×高100×深240(mm)



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