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四探测试仪&nbs;(手动带软件）&nbs;型号:TZH24-RTS-8
库号：M403790&nbs;&nbs;&nbs;
RTS-8型数字式四探测试仪是运用四探测原理的多用途综测设。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国&nbs;A.S.T.M&nbs;标准而设计的，于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
仪器由主机、测试台、四探探头、计算机等部分组成，测数据既由主机直接，亦由计算机测试测试数据到计算机中以分析，然后以表格，图形方式统计分析测试。
仪器采用了电子进行设计、装配。具有功能直观、测取数快、精度、测围宽、性好、紧凑、易操作等点。
本仪器于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻测试。RTS-8型四探软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
测试程序四探测试仪进行测并测试数据，把到的数据在计算机中以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、出来。用户对到的数据在电中保存或者打印以日后参考和查看，还以把到的数据到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析技 术 指 标&nbs;：
测围
电阻率：10-5～105&nbs;Ω.cm(扩展)；&nbs;
方块电阻：10-4～106&nbs;Ω/□(扩展)；&nbs;
电导率：10-5～105&nbs;s/cm；&nbs;
电阻：10-5～105&nbs;Ω；&nbs;
测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源
电程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续调
数字电压表
程及表形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1%&nbs;；
：四位半红色发光管数字；性、程自动；
四探探头基本指标
间距：1±0.01mm；
间缘电阻：≥1000MΩ；&nbs;
机械游移率：≤0.3%；
探：碳化钨或速钢Ф0.5mm；
探压力：5～16&nbs;牛顿(总力)；
四探探头应用参数
(见探头附带的格证)
模拟电阻测相对误差
(&nbs;按JJG508-87进行)
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整机测相对误差
(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测标准定度
≤5%
测试模式
连接电测试也连接电测试
软件功能（选配）
软件记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据值、小值、平均值、变化、平均变化、径向均匀度、并将数据生成直方图，也把测试数据到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还自动测功能，根据样品电阻小自动适电程档测试。
计算机通讯接口
并口，速并行数据，连接电使用时数据到电的时间只需要1.5&nbs;秒（在&nbs;0.1mA、1mA、10mA、100mA程档时）。
标准使用环境
温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无频干扰；
无光直射；
仪器由主机、测试台、四探探头、计算机等部分组成，测数据既由主机直接，亦由计算机测试测试数据到计算机中以分析，然后以表格，图形方式统计分析测试。
仪器采用了电子进行设计、装配。具有功能直观、测取数快、精度、测围宽、性好、紧凑、易操作等点。
本仪器于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻测试。RTS-8型四探软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
测试程序四探测试仪进行测并测试数据，把到的数据在计算机中以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、出来。用户对到的数据在电中保存或者打印以日后参考和查看，还以把到的数据到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析技 术 指 标&nbs;：
测围
电阻率：10-5～105&nbs;Ω.cm(扩展)；&nbs;
方块电阻：10-4～106&nbs;Ω/□(扩展)；&nbs;
电导率：10-5～105&nbs;s/cm；&nbs;
电阻：10-5～105&nbs;Ω；&nbs;
测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源
电程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续调
数字电压表
程及表形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1%&nbs;；
：四位半红色发光管数字；性、程自动；
四探探头基本指标
间距：1±0.01mm；
间缘电阻：≥1000MΩ；&nbs;
机械游移率：≤0.3%；
探：碳化钨或速钢Ф0.5mm；
探压力：5～16&nbs;牛顿(总力)；
四探探头应用参数
(见探头附带的格证)
模拟电阻测相对误差
(&nbs;按JJG508-87进行)
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整机测相对误差
(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测标准定度
≤5%
测试模式
连接电测试也连接电测试
软件功能（选配）
软件记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据值、小值、平均值、变化、平均变化、径向均匀度、并将数据生成直方图，也把测试数据到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还自动测功能，根据样品电阻小自动适电程档测试。
计算机通讯接口
并口，速并行数据，连接电使用时数据到电的时间只需要1.5&nbs;秒（在&nbs;0.1mA、1mA、10mA、100mA程档时）。
标准使用环境
温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无频干扰；
无光直射；
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产品参数
- 否
- 接地电阻测量仪表
- TZH24-RTS-8库号：M403790
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