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二手日本光驰OTFC-1300光学镀膜机 真空镀膜机

参数
  • 真空镀膜类型
  • OTFC-1300型号
  • 8成新新旧程度
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东莞市宏诚光学制品有限公司
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二手日本光驰OTFC-1300光学镀膜机 真空镀膜机 


电子枪 JST-10F-2GUN   旋转泵VS2401  扩散泵22x2  冷冻机Polycold PFC-670HC

 

光学检测有(光控/精控 基板加热heater  回转  中心回转




日本光驰OTFC-1300镀膜机:主要用于量产高精度的带通滤光片产品,包括生物医疗、荧光检测及天文观测用的滤光片,可以使产品的光学性能及稳定性进一步得到保障,满足生物疗领域荧光滤光片对于高对比度、高信噪比、暗黑背景的要求。

OTFC-1300镀膜机的基本配置是:搭载了10KV双电子枪,750WRF射频离子源,光学膜厚监控装置(Optorun制,HOM2-R-VIS350A),低温冷凝器(Polycold),油旋转机械泵 (Edwards E2M275)罗茨机械泵(Edwards EH1200);多点和环型坩埚可镀200层以上,膜厚可达20000nm之多。这就意味着单片镀膜就可以达到截止深度OD5以上,不用再为了达到高OD值而再做两片胶合了。从而大大提升了滤光片的成像质量以及产品合格率。

下面介绍其中两个特点:

1.光学膜厚测量控制:

OTFC-1300镀膜机是利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程,这就使生产效率得以***提高。光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚度进行无损的、实时的测量,并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更精准,公差更小,可以做到±0.1nm

2. RF射频离子源:

1)加工精度高,便于控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描,可以控制尺寸范围。高离子电流密度和均匀分布,照射面积能达到Ф1150mm以上。

2)同使用灯丝型的离子源比较,它的寿命长,污染少。

3)加工应力、变形极小。离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微细加工,作为一种微观作用,其宏观压力很小,适合于各种材料和低刚度工件的加工,而且加工表面质量高。



日本光驰OTFC-1300镀膜机:主要用于量产高精度的带通滤光片产品,包括生物医疗、荧光检测及天文观测用的滤光片,可以使产品的光学性能及稳定性进一步得到保障,满足生物疗领域荧光滤光片对于高对比度、高信噪比、暗黑背景的要求。

OTFC-1300镀膜机的基本配置是:搭载了10KV双电子枪,750WRF射频离子源,光学膜厚监控装置(Optorun制,HOM2-R-VIS350A),低温冷凝器(Polycold),油旋转机械泵 (Edwards E2M275)罗茨机械泵(Edwards EH1200);多点和环型坩埚可镀200层以上,膜厚可达20000nm之多。这就意味着单片镀膜就可以达到截止深度OD5以上,不用再为了达到高OD值而再做两片胶合了。从而大大提升了滤光片的成像质量以及产品合格率。

下面介绍其中两个特点:

1.光学膜厚测量控制:

OTFC-1300镀膜机是利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程,这就使生产效率得以***提高。光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚度进行无损的、实时的测量,并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更精准,公差更小,可以做到±0.1nm

2. RF射频离子源:

1)加工精度高,便于控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描,可以控制尺寸范围。高离子电流密度和均匀分布,照射面积能达到Ф1150mm以上。

2)同使用灯丝型的离子源比较,它的寿命长,污染少。

3)加工应力、变形极小。离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微细加工,作为一种微观作用,其宏观压力很小,适合于各种材料和低刚度工件的加工,而且加工表面质量高。









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