二手美国ZYGO带软件平面干涉仪/球面干涉仪
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美国ZYGO带软件激光干涉仪/平面干涉仪/球面干涉仪
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二手美国ZYGO带软件激光干涉仪口径100MM介绍
激光干涉仪是精度的线性位移测量仪器，其光波可以直接定义米，可以追溯到***。然而，我们经常检测偏差值，偏离我们的估计，以便在高精度检测中怀疑设备。今天，让我们来看看激光干涉仪测量误差的部分原因。
1、 阿贝误差
测量光学镜组安装高度不在测量设备运动轴上引起的测量误差称为阿贝误差。原因是设备移动时有俯仰和扭摆差。因此，光学镜组与运动轴的偏差越远，阿贝误差越大。
由角度和偏置距离引起的误差表(单位:um）
上表：角度1″偏置距离500mm造成的误差约为2.40um。
实际案例：具体说明机床检测时安装高度不同。
线性镜组安装距离工作台10cmm：
线性镜组安装距离工作台30cm：
线性镜组安装距离工作台50cm：
实验结果：根据《机床检验通则》2000版GB/T17421.2的分析标准，镜组安装高度偏离设备运动轴越远，检测结果中的重复精度和定位精度越差。
正确方法：设备校准时，线性镜组的安装高度应尽可能靠近测量轴，使激光束与运动轴重合（或尽可能靠近），以减少阿贝误差。
扩展：SJ6000激光干涉仪用户在比较两种类似设备的定位精度时，应进行同轴比较，即共用线性镜组，以便具有可比性。
2、 环境因素
环境补偿单位可以根据Edlen公式准确收集空气温度、压力和相对湿度信息，计算空气折射率，以补偿激光波长。
环境温度、压力、空气湿度各自变化引起的1000mm示值变化(单位:um）
同时，环境补偿单元中的材料温度探头可以实时、高精度地测量被测设备的温度，并对其进行温度补偿。然而，由于操作人员将材料温度探头放置在错误的位置，收集到的数据不能真正反映被测物体的温度状态，从而增加测量误差。
二手美国ZYGO带软件激光干涉仪口径100MM照片
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