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利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有***的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
控制系统采用集中式控制，开关设置于设备控制柜内，每组光氧催化模块都具有独立开关，对设备构成相对独立的控制系统，电控柜原则上放在喷漆设备附近便于观察和操作的位置上。各电机回路配有低压断路器、热继电器，完成电机的短路和过载保护，正常运行时有绿色信号灯显示，发生故障时有声光报警显示。
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