sisic碳化硅密封环耐腐蚀,耐磨损,耐高温,抗热震
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无压碳化硅干压工艺轴承轴套耐腐蚀 耐高温 耐磨损性价比高
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碳化硅,是一种无机物,化学式为SiC,是用石英砂、
石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)
等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,
莫桑石。在C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,
碳化硅为应用、经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂
碳化硅陶瓷具有优良的常温力学性能,如高强度、
高硬度、高弹性模量等,的高温稳定性,如高导热系数、
低热膨胀系数等,以及良好的比刚度和光学加工性能,
特别适合用于制备光刻机等 集成电路装备用陶瓷结构件,
如用于光刻机中的运动工件台、骨架、吸盘、水冷板以及精
密测量反射镜、光栅等陶瓷结构件等,方泰新材经过多年的技术攻关
,解决了大尺寸、薄壁、中空等复杂结构碳化硅结构件的加工制备难题,
突破了该类碳化硅结构件制备技术的技术瓶颈,
推进了集成电路制造装备用关键结构件的国产化。
1、碳化硅陶瓷主要包含无压烧结碳化硅(SSiC)、反应烧结碳化硅(RBSC)、化学气相沉积碳化硅(CVD-SiC)
2、碳化硅具有各种的性能:超硬、、 高热导率和机械强度、 低热膨胀系数、 的热稳定性、低密度、高比刚度、无磁性。
3、目前在航空、航天、核工业等各个行业均有碳化硅陶瓷的应用,如碳化硅陶瓷反射镜,IC集成电路制造等装备用陶瓷部件,条件下的热交换器、防弹材料等。