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产品名称：TOUSIMIS临界点干燥器Automegasamdri-938
产品型号：Automegasamdri-938
产品介绍
新型超临界Automegasamdri-938系统由我们的内部设计团队开发，其目标是倾听您的需求，并将其融入我们的下一代产品中。几十年来，您一直期待的***功能能够实现平稳操作、准确控制和再现性，在我们这个新的设计中再次显现。
性能特点
l 运行室中的专用初始慢速填充可以实现理想的流体动力学，从而保留敏感的微型设备。
l 通过可接近的部件，包括外部吹扫后过滤器组件，维护变得容易。
l “涡流”技术：非机械搅拌室，允许流体动态交换，无需产生颗粒的摩擦装置。
l 集成闭合冷却回路可快速降低腔室温度，缩短工艺运行时间。
l 内部SOTER（tm）冷凝器安静地捕获并分离二氧化碳废气和废酒精。
l 腔室插入件可实现腔室内径的变化，更大限度地提高LCO2消耗效率、工艺时间，并提供多种尺寸的晶圆工艺能力。
l 处理室LCO2过滤至0.08μm，颗粒保留率达到99.9***+。
l 每次运行可处理五个8“（200mm）晶圆。包括以下HF兼容晶圆夹：8”（200mm）、6”（150mm）、4”（100mm）、3”（75mm）、2”（50mm）和10mm模具夹。
l 通过观察窗口实现腔室照明，有助于腔室状态可视化。
l 自动处理与工厂默认配方或自定义自己的能力。
l 所有内表面对二氧化碳和超纯醇都是惰性的。
l 可重复的操作参数，确保结果的“再现性”。
l 操作功能集成在温度和压力自动调节中。
l 洁净室无静电兼容设计。
可选功能与配件
8760-03：8“工艺室用KNURL螺母
8760-41：适用于Autosamdri、Automegasamdri和触摸屏C系列的3A保险丝
8760-42：适用于Autosamdri、Automegasamdri和触摸屏C系列的8A保险丝
8770-13：LED室灯，120V
8770-32：高压软管，5英尺
8770-33：高压软管，10英尺
8770-80：4“工艺腔室的腔室盖
8785：双T形过滤器组件
8770-83B：用于LCO2 T型过滤器或外部吹扫管线过滤器的0.5µm不锈钢颗粒过滤器元件。
8784-05：LCO2储罐连接垫片
8770-51T/916B：AutomegaSamdri-938和AutomegaSambri-916B的O型环
8770-48：流量计-与Automegasamdri-938或Automegasamdri 916B（180 SCFH）一起使用
8770-54：LCO2油箱秤，带远程显示器
8768H：8“-200毫米HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆
8768A：6“-150mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆
8768F：5“-125mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆
8768B：4“-100mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆
8768C：3“-75mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆
8768D：2“-50mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆
8768G：1“-25mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆
8768E：10mm方形HF兼容芯片支架，可容纳5个芯片
技术参数
产地：美国
柜子：19.8" (50.3cm)宽x 31.7" （80.6cm）深x 44.5" （113.0cm）高
系统设置区域占地面积：27" （68.6cm）宽x 38" （96.5cm）深
腔室尺寸：8.50“内径x 1.25”深度
腔室容积：1162 ml
电压：120V或220V
频率：50-60Hz
流量控制：微型计量阀
晶圆尺寸：可达8"-200mm
编织线材质：SS316
编织线长度：10ft/3m（其他长度可根据要求提供，可达100ft/30m）
过滤器组件：双T形，预装
产品应用
生物工程
植物学
昆虫学
凝胶
石墨烯
MEMS
金属有机框架
其他SEM CPD应用程序
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