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超纯水是反渗透精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质、金属离子，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物。就是运用预处理——吸附杂质、氧化物，反渗透——在进水(浓溶液)侧施加操作压力以克服自然渗透压，当高于自然渗透压的操作压力施加于浓溶液侧时，水分子自然渗透的流动方向就会逆转，进水(浓溶液)中的水分子部分通过膜成为稀溶液侧的净化产水。可清除源水中的细微杂质、胶体、有机物、重金属、可溶性固体、细菌、病毒、热源和其它有害杂质，仅仅保留水分子和溶解氧，有效去除***达***。离子交换——运用离子交换树脂的置换和游离，使得Na+与H+互换位置，这一变化，就称为离子交换。同理，阴树脂置换出OH-，从而生产H2O。去除残余的离子。以及运用紫外氧化杀菌、降解TOC和终端修饰等手段获得更纯净的超纯水。
大流量的超纯水设备指RO-1500GPD（250Ｌ/Ｈ）以上的工业级ＲＯ机，采用全不锈钢材质、双级ＲＯ技术+ＥＤＩ或精混床，配中间水箱，系统更复杂，水质更纯，可以达到15兆欧以上的一级纯水的标准。要根据用户的实际需求定制工艺流程和设备选型。
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