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芯片行业清洗用EDI超纯水系统 莱特莱德EDI超纯水设备处理工艺案例

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  • EDI产品特性
  • 加工定制
  • 超纯水设备型号
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莱特莱德(上海)技术有限公司
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目前在芯片制作中应用的超纯水设备多是采用反渗透结合EDI装置相结合的工艺,这样的超纯水设备还具有抗污染能力强、节能环保、产水水质稳定、系统内无死水等优点,出水水质符合且高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。


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