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理科研精选 FITOK 飞托克 原子层沉积隔膜阀 DQ346L-FFR4-GK-RF3

参数
  • FITOK飞托克品牌
  • 标准型号
  • 不锈钢材质
江苏 苏州 15天内发货 10
理科研贸易(苏州)有限公司 1年
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产品详情

特征
超高的循环寿命
流量系数一致性和稳定性高
标准型、耐热型和热浸没型可选
流道无死区
响应速度快,可在5毫秒内完成阀门开启或关闭
带电磁阀款的阀门,电磁阀可沿执行器圆周旋转以调整位置

核心设计亮点
超快速响应:阀门总开启/关闭响应时间小于5ms,可精准匹配原子层沉积工艺的单原子膜层脉冲式供气需求,
保障薄膜沉积的均匀度与厚度精度。
无死区流道:采用圆弧连接流道设计,大程度消除流体滞留死角,避免介质残留污染,适配半导体介质输送要求。
超长循环寿命:隔膜采用Elgiloy钴基超级合金材质,高强度耐腐蚀,可在上亿次开关循环中保持性能稳定,大
幅降低产线维护更换频率。
全系列工况适配:提供标准型、耐热型、热浸没型三类版本,覆盖从常规气路到高温工艺腔浸没安装的全场景
需求。
超高纯制造工艺:阀体采用316L VIM-VAR超高纯不锈钢,浸润面电化学抛光至Ra0.13um,在***4级(10级)
洁净室内完成装配测试,洁净度满足半导体UHP级标准。



我司优势品牌一览明细:

CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、PFERD马圈、TEMTOP乐控、JIKCO吉高

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉、OTSUKA大塚电子、TSUBAKI椿本、TRINC高柳

NS日本科学、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、EBARA荏原、ULVAC爱发科、TORAY东丽

RIYYO理阳、WATSON沃森、KAKUHUNTER写真化学、HEIDON新东科学、NIKKATO日陶、ULVAC爱发科等

USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND爱安德、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤,INTECS,RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等


优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计

恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪

接近开关、拉拔机、异音检测仪、空气测量泵、应变测试仪等


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