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福润德牌FRD-010全自动微控扩散炉***,质量

参数
  • 加工定制
  • 福润德品牌
  • 按工艺要求型号
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青岛福润德微电子设备有限公司
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产品详情

主要技术指标: 

★    炉管数:      1~4管 

★    配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸) 

★    恒温区长度:  760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 

                    760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃) 

★    单点稳定性:  ±1.0℃/24h (300~800℃) 

                    ±0.5℃/24h (800~1280℃) 

★    气源路数:    ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器 

★    气体控制:    浮子/质量流量计 

★    悬臂舟参数:  速度:    20~1000 mm/min 

                        行程:2000 mm 

                        定位精度:±1 mm  

                        载荷:17 Kg 

★    超净工作台:  净化等级:100级(万级厂房) 

    噪音:    ≤62dB(A) 

    振动:    ≤3μm 
 

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