晨立专业设计【试验扩散炉】 半导体设备 氧化炉
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CL4514型高温卧式扩散炉--青岛晨立专业定制
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隧道式烧结炉--高温烧结炉--青岛晨立电子定制
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真空烧结炉
设备分类：从结构上分为卧式、立式、箱式，从真空度上分为低真空、高真空，从使用温度上分为低温、高温，从真空室材料上分为石英管、耐热不锈钢管，从真空获得上分机械泵、机械泵＋扩散泵、机械泵＋分子泵。
设备用途：广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。
主要技术指标：
★工位：单、双、三工位
★工作温度：300～1100℃（不锈钢真空室1000℃）
★真空度：优于5×10-3 Pa
★真空室直径：Φ150～300 mm
★恒温区长度：400～1000 mm
★控制精度：±1.0～3.0℃
★炉体移动速度：0～400 mm/min
★充气压力：0.5 MPa（不锈钢真空室）
★加热功率：10～80 KVA
★控制系统：进口仪表＋PLC＋触摸屏
★安全连锁保护：超温、断偶、缺水、压力异常保护报警
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