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苏展--高品质石墨烯制备设备,CVD真空高温管式炉

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南京苏展智能科技有限公司
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1、供气系统简介:  (1)、供(混)气系统的组成部件:a、浮子流量计或质子流量计       b、压力表         c、截止阀门   d、穿板接口                     e、阀门接头       f、气瓶接头   g、聚四氟乙烯管(供(混)气系统与气瓶的连接管道)       h、混气罐           j、不锈钢管(供(混)气系统内部连接管道)    k、壳体  

气体的流向:气体从钢瓶出来,经过减压阀减压(所需压力≤0.05MP),通过四氟管到供(混)气系统的“进气接口”(inlet port),再经过质子流量计控制流量后,然后经过混气罐,再进入炉子进气口。                       

2、特点

1)本供(混)气系统适用于低压小流量,二种或多种气体混合连续供气。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。

2)气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。

3)显示流量准确,可有效地控制气体消耗量。

4)所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。

5)每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有***。

6)管道采用四氟管或不锈钢管,耐腐蚀性好。

7)所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。

 3、工作原理  

 两种(或多种)气体,由气体钢瓶经减压阀减压(所需压力≤0.05MP)后输入到气体供(混)气系统,再通过流量计调节每一组分的体积流量,输出预定比例关系的混合气体,达到实验所需的气氛。严禁氢气和氧气同时供气,***安全。将供(混)气系统进口的连接头接到15Mp的供气钢瓶减压阀上,选择连接好两种或多种气体,按顺序开启供气钢瓶上的阀门、供(混)气系统上对应的截止阀及流量计旋钮,再旋转减压阀旋钮增大气体压力,调节气体流量,输出所需要的压力和流量。

 4、供气系统管路的连接:连接所需气瓶之前,关闭所有阀门.(2)连接供(混)气系统与钢瓶之间的管路,该管路采用聚四氟乙烯管,本公司给您配有连接件(气瓶接头) a、把垫圈放入本公司配的“不锈钢气瓶接头”接口内(主要起密封作用),然后把“气瓶接头”拧到减压阀上。b、把“气瓶接头”上螺母拧开、然后把需要连接的四氟管穿进螺母。c、把穿进螺母的“四氟管”一端插到“气瓶接头”的接口上,拧紧“气瓶接头”上螺母。 (3)按上述b和c一样的步聚把由气瓶接过来的“四氟管”另一端和供(混)气系统上“进气接口”(inlet port)连接好。(4)用“四氟管”把供(混)气系统上“出气接口”(outlet port)端与管式炉上进气阀门端连接好,本公司给您配有连接件--“阀门接头”a、为了避免漏气、把“阀门接头”的螺纹上裹上生料带或涂上硅胶b、把“阀门接头”拧到阀门上,阀门内四氟垫圈如果变形,请取出换一个新的。c、把“阀门接头”上螺母拧开、然后把需要连接的四氟管穿进螺母。d、把穿进螺母的“四氟管”一端插到“阀门接头”的接口上,拧紧“阀门接头”上螺母。e、把“四氟管”的另一端和供(混)气系统上“进气接口”(inlet port)连接好。

 5、供气系统的操作步骤: (1)管路连接好后,打开气瓶上阀门和气瓶上减压阀阀门(减压阀上阀门的开启与一般阀门正好相反、顺时针转为打开、逆时针转为关闭),减压阀上有2个压力表,一个是显示气瓶内压力、一个显示的是流出的气体压力,注意:流出的气体压力必须Pmax<0.05MP (此压力由减压阀上阀门控制)。 (2)按下显示仪电源按钮、显示仪通电并开启。(3)打开所有阀门:供气系统进气端气体截止阀和出气端气体截止阀、炉子进气阀、出气阀。注意:Pmax<0.05MP。(4)在显示仪上设定流量到所需流量(详细查看后面流量显示仪使用说明)。(5)按比例调节各路气体流量计流量,数分钟后即可供给所需要的混合气体,混合气体进入炉膛内,刚混合的气体含有管道内的空气,此气体不纯,需要排出,在对管式炉加热之前需要确保混(供)气系统管道内和管式炉炉管内空气被排干净。(6)加热炉使用结束,卸压并关闭所有阀门。

 6、供气系统的检漏:检测供气系统内连接件和与管路之间是否连接可靠、有无漏气,如果有漏气请查出,并处理好,特别是通一些危险性气体,此步不可忽略。(可充氮气保压测试、看压力表是否偏转

(1)、按5供气系统的操作步骤(1)、(2)操作。

(2)、打开供气系统进气端截止阀、使供气系统出气端截止阀处于关闭状态。

(3)、在显示仪上设定各气体流量到流量。

(4)、待供气系统上压力表指针达到一定值后(Pmax<0.05MP)、关闭所有进气阀。

(5)、不要关闭电源、让气体在管道内保持压力2小时左右,看压力表指正是否偏转,如果不偏转说明不漏气,如果偏转说明漏气,请查出漏点。 7、安全注意事项

(1)气瓶应放置在阴凉通风处,避免阳光直晒,又能耐火的专门建筑物或室外,严禁将气瓶和高温炉放在一起。

(2)严禁氧气和氢气同时使用或混合使用,使用有毒有害,易燃易爆的气体前请严格检查气路的气密性,使用氢气前排空管内的氧气。不同氢气时,应关闭阀门。

(3)氢气瓶必须使用专门的减压器,开启气瓶时,操作者应站在阀门口的侧后方,动作要轻缓。

(4)严禁使用瓶口有油污的氧气瓶。

(5)每只气瓶***必须保留0.5MP的余压。

(6)开启减压阀时应注意其工作压力使其Pmax<0.05MP,以免压力过大造成气路损坏。

(7)减压阀应采用调控范围在0.02-0.25MPa的专用气体减压阀。

(8)如果使用有毒有害,易燃易爆的气体、请安装该种气体的“气体探测器”如果气体有漏出来的情况,“气体探测器就会报警”。

 

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