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产品名称：PALOMAR高真空炉3150
产品型号：3150
产品介绍：
3150高真空炉封装采用非常低的真空和湿度水平密封，以延长长期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高达 500°C（可选 1000°C）的温度。洁净室兼容系统还可配置为允许盖子和封装的原位分离、吸气剂烧制和MEMS封装的密封。使用涡轮分子阻力泵来有效泵送氢气分子。对于需要很低水平残留水蒸气的工艺，可以将可选的低温水泵添加到系统中。
性能特点：
•高真空能力
•可选的低温水泵
•涡轮分子泵
•压力为12 psig
•自动线性运动阶段
•电阻石墨热系统
•专有运行分析仪软件
•自动温度和压力控制
•分布式逻辑控制系统
•原位热量激活
•所有配置文件运行的实时绘图
•温度高达1000°C（可选）
参数：
•工作温度范围：室温至500°C（1000°C选项）
•热工作区：25“ 2（160 cm2）
•min真空水平：<1 x 10-7托尔（1.3 x 10-7 mbar）
•max室内气PSI：15 psig（1.8 bar）
•室深度：12英寸（305毫米）
•工作表面高度：37英寸（95厘米）可调
•需要压缩空气：90 psig（7 bar）
•冷却方法：可编程氮气清洗
•加热方法：可移动的电阻石墨夹具
•工艺气体（三个输入）：需要N2，（AR，HE，形成气体可选） @ 90psig（7 bar）min压力
•尺寸（w x d x h）：94“ x 43” x 54“（238 x 109 x 137 cm）
•体重：1800磅（816公斤）
•电气（***电压）：208-240伏，60安培，50/60 Hz，1阶段，7.3千瓦平均值，13.2千瓦峰
•真空泵类型：涡轮分子阻力（可选的低温水泵）
•冷却水：2 GPM（8 lpm） @ 20-25°C，2千瓦的容量min
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