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pi-P-313 PCube XY(Z) 压电扫描器

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北京汉达森机械技术有限公司 4年
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pi-P-313 PCube XY(Z) 压电扫描器

皮米精度,高带宽,用于扫描探针显微镜


用于 AFM / SPM 的高线性扫描仪

高达 20 皮米的分辨率,滞后 <1 nm

闭环驱动概念带来的带宽

用于生物技术/纳米技术的分辨率操作工具

共振频率 4.0 kHz (X, Y), 11 kHz (Z)

行程范围 1 µm × 1 µm × 0.6 µm



pi-P-313 PCube XY(Z) 压电扫描器

应用领域

扫描探针显微镜

原子力显微镜

扫描筛选

平行运动实现高动态多轴操作

在平行运动多轴系统中,所有执行器都作用在一个公共平台上。小的惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态且的运动。


零间隙挠性导轨实现高导向精度

挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损,并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力,并且它们对冲击和振动不敏感。它们 真空兼容,可在很宽的温度范围内工作。

pi-P-313 PCube XY(Z) 压电扫描器


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