德国PI 用于显微镜的 PIFOC 物镜扫描仪 原厂发货
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德国PI 压电扫描器P-313 PCube XY(Z) 原厂发货，PI ms GmbH 是现代技术的中心，拥有工程系统和电动器产品部门。在这里为不断增长的自动化市场开发、构建和生产了的标准轴产品组合。
4、P-313 PCube XY(Z) 压电扫描器
皮米精度，高带宽，用于扫描探针显微镜
P-313 PCube XY(Z) 压电扫描器
产品描述规格下载报价/订购
用于 AFM / SPM 的高线性扫描仪
高达 20 皮米的分辨率，滞后 <1 nm
闭环驱动概念带来的带宽
用于生物技术/纳米技术的分辨率操作工具
共振频率 4.0 kHz (X, Y), 11 kHz (Z)
行程范围 1 µm × 1 µm × 0.6 µm
应用领域
扫描探针显微镜
原子力显微镜
扫描筛选
由于平行运动，高动态多轴操作
在平行运动多轴系统中，所有执行器都作用在一个公共平台上。小的惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态且的运动。
零间隙挠性导轨实现高导向精度
挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们 真空兼容，可在很宽的温度范围内工作。
规格
P-313 PCube XY(Z) 压电扫描仪
单元
德国PI 压电扫描器P-313 PCube XY(Z) 原厂发货
运动和
活动轴X、Y、Z
行程范围 X、Y (±250 V)1微米
Z 行程范围 (±250 V)0.6微米
X、Y 分辨率0.02纳米
Z 轴分辨率0.14纳米
机械性能
X、Y 方向的谐振频率4千赫
Z 轴谐振频率11千赫
运动方向的推/拉力容量±10N
承载量±10N
各种各样的
工作温度范围5 到 40℃
大量的80G
电缆长度
1.5米
电压连接
P-313.30L：莱莫
P-313.30D：D-sub 24W7（米）
推荐电子产品 E-536
系统的分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制，因为 PI 压电纳米系统没有摩擦。
所有规格均基于室温 (22 °C ±3 °C)。
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