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德国 Physik Instrumente A-68x PIglide RLA旋转平台

参数
  • PI品牌
  • A-68x型号
  • 洁净工作台工作台类型
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北京汉达森机械技术有限公司 4年
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产品详情

简介

在过去的四十年中,PI(Physik Instrumente)已发展成为纳米技术的制造商。创业行为的关键要素和动机始终保持不变:为客户找到解决方案。PI(Physik Instrumente)位移平台以其产品而,多年来一直是技术市场的之一。重要的组成部分之一是国际PI家族内部的团队精神,其基础是超越国际边界和功能限制的相互理解和支持。

PI是一家拥有健康增长的私营,在拥有1000多名员工,并且是一个灵活的垂直整合的组织,这使PI(Physik Instrumente)位移平台能够满足型技术领域的几乎所有要求。

PI的首要任务是成为客户的可靠且高的合作伙伴。PI是运动和领域解决方案的供应商。


应用领域

六脚架支持工业机器人科学仪器

半导体技术

显微镜检查

硅光子学

医疗技术

材料研究

机械工业

自动化

梁线仪器

添加剂制造

主动对准


线性平台

PI提供了的电动线性平台产品组合。种类繁多的应用还意味着线性轴的技术可能性也非常。行程范围从几毫米到几米,精度等级从纳米到微米:PI使驱动器,导向器或传感器技术适应应用条件。

有许多不同型号的真空版本。多轴组合可借助转接器支架实现,或者通过匹配的Z平台和旋转平台更加紧凑。

运动控制器可作为台式设备,机架版本或紧凑型OEM设备使用。所有这些因素的共同因素是通过通用命令集(GCS)进行命令,该命令简化了控制和编程,并且与驱动器类型无关。

可提供具有ACS运动控制器的多轴工业应用中的多轴系统。这样可确保通过Fieldbus接口轻松集成,以实现和以运动为中心的工业应用。


1.U-523PILine线性平台

带有超声波压电马达的紧凑型线性平台

级线性平台

PILine位移台特别适合需要快速的应用。关闭时,自锁驱动器会以机械方式稳定工作台的位置。因此,能量消耗和热量产生显着减少。这些特性使电池供电或对热敏感的低占空比应用益。轴的位置由编码器测量,光学参考开关可实现可靠的可重复运动。压电驱动原理及其电气操作成本低廉,可以定制。

使用增量线性编码器进行位置测量

非接触式光学编码器可以精度直接在平台上测量位置。非线性,机械间隙或弹性变形对测量没有影响。

PILine超声波压电马达

PILine超声波压电电机的组成部分是压电致动器,该压电致动器通过一个耦合元件预加载在可移动的导向流道上。压电陶瓷执行器被100200 kHz之间的高频AC电压激励而产生超声振荡。致动器的变形导致联接元件相对于转轮周期性的对角运动。每个周期产生的进料为几纳米。高频导致高速。将压电陶瓷执行器预紧抵在转轮上,可确保驱动器在静止和关闭时自动锁定。

应用领域

显微操作,自动化,生物技术,样品处理,样品,空间有限的应用,10 -6 hPa的真空应用(可选)。


2.精度的N-565线性平台

具有亚纳米编码器分辨率的NEXACT压电步进驱动器

NEXACT参考级线性平台

带有NEXACTPiezoWalk驱动器的线性平台可在长行程范围内在纳米范围内进行。它们配备有直接测量的线性编码器和交叉滚子轴承,可实现的精度。

使用PIOne线性编码器进行直接位置测量

PI开发了高分辨率的PIOne编码器,并通过对测量值进行相应的处理,使位置分辨率大大小于1纳米。另外,由于信号周期短和信号高,PIOne编码器的线性误差小于1%。PIOne编码器在参考信号时支持方向感测。

PiezoWalk技术:高分辨率和低磨损

PiezoWalk技术结合了压电执行器和压电马达的技术优势。PiezoWalk行走驱动器不仅提供亚纳米级分辨率,高作用力和高刚度,而且理论上允许的行驶范围。与其他压电驱动原理相反,PiezoWalk行走驱动器不滑动摩擦的影响。它们基于沿着滑道步进的多个压电执行器的静摩擦接触。静止时,PiezoWalk行走驱动器是自锁的,不消耗能量,并且不发热。

应用领域

样品处理,样品,具有和稳定性的光学或机械组件,半导体行业的机械,显微操作,显微镜,自动化,在狭窄空间中的应用,在非磁性环境中的应用。


3.L-812高负载线性平台

步进或伺服电机驱动螺杆高

强大的线性平台,用于要求苛刻的工业应用

滚珠丝杠,步进或同步伺服电机,重型循环滚珠轴承以及旋转编码器可在高负载下连续可靠地运行。可选的抱闸允许用作Z轴。滚珠丝杠可以在不拆卸的情况下从外部进行补充润滑,以确保高可靠性和长寿命。

设计

L-812系列的循环球轴承导轨设计用于高负载能力和动态性能。电机的高分辨率可改善跟踪性能,减小跟踪误差并缩短建立时间。

选项

步进或同步伺服电机

抱闸

旋转编码器,增量式或式

折叠式传动系统可减少总长度

同步伺服电机

这些电动机在较大的转速范围内具有较高的精度和较高的过载能力。高扭矩和低惯量确保了驱动器的高动态。这些电机的使用寿命长,性能高且,可在工业自动化应用中获得效果。

步进电机

强大且低振动的2相步进电机即使在没有位置控制的情况下也可以实现。

应用领域

电子产品生产:微装配。传感器/摄像头的位置。

激光材料加工:激光微加工。

工业喷墨印刷。矩阵板和印刷电路板的生产。

测试与检查。

医疗设备制造:气密焊接。基因实验室的机器人系统。


空气轴承和位移台

空气轴承台用于需要无振动运动,速度需要高度恒定且要求角度重复性的场合。

空气轴承避免了摩擦,磨损和反冲效应。PIglide线性,旋转和球面轴承是组件,可以集成和电动化用于OEM,工业和研究市场。


1.A-142 PIglide音圈线性平台,带空气轴承

兼容无尘室垂直安装选件

产品总览

紧凑型音圈线性平台,带有空气轴承导轨。免维护,寿命,非常适合具有高占空比和严格体积限制的高动态应用。

集成的平衡选项可实现垂直方向的操作。

配件和选件

PIglide过滤器和空气制备套件

垂直安装的气动平衡

应用领域

线性位移台非常适合应用,例如计量学,光子学对准系统,光学器件和扫描。非接触式设计是洁净室应用的理想选择。电缆未移动。


2.A-110 PIglide LC线性平台,带空气轴承

廉价的纳米台

产品总览

PIglide系统具有磁性直线电机,磁性预加载的空气轴承和光学线性编码器:非接触和无摩擦运动,可提供的准确性和可靠性

应用领域

PIglide系统非常适合许多应用,例如半导体或平板显示器制造中的计量,光子学和扫描。

由于无摩擦运动,不会形成任何颗粒,这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。

配件和选件

编码器

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴和多轴运动控制器

XY设置和个别配置

用花岗岩制成的底板和减少振动的系统


3.A-141 PIglide MB微型线性平台,带空气轴承

,无尘室兼容,可定制

产品总览

带有空气轴承的PIglide MB线性位移台配有伺服线性电机驱动器,该驱动器带有预装的空气轴承和集成的光学线性编码器。此阶段可提供微型格式的精度。非接触组件的组合形成了一个无摩擦运动平台,该平台可提供的性能,和使用寿命。

应用领域

该载物台非常适合许多应用,例如计量,光子对准,光学和扫描。非接触式设计也是洁净室应用的理想选择。电缆未移动。空气轴承模块提供锁定设计,以实现的位置稳定性。

配件和选件

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴和多轴运动控制器

用花岗岩制成的底板和减少振动的系统


旋转台

对旋转运动的要求显示出范围很广的各种尺寸,负载能力和精度。PI提供具有各种电动和导向选项的平台:空气轴承,扭矩马达驱动,蜗轮蜗杆耦合电动,小型压电马达平台以及带有正交倾斜安装选项的测角仪平台。它们都可以通过相应的线性,垂直和XY平台安装到多轴组合上。


1.A-68x PIglide RLA旋转平台,带空气轴承,大孔径

无摩擦,电动

产品总览

PIglide RLA系列的直接驱动平面旋转平台设计为具有的精度。它们外形小巧,通光孔径大。RLA位移台具有行程精度,平坦度和摆动性能。

值编码器(可选)

值编码器提供明确的位置信息,从而可以立即确置。这意味着在接通过程中不需要引用,从而提高了操作过程中的效率和安全性。

应用领域

断层扫描,束线系统,晶圆计量,晶圆检查,测量技术,检查系统,校准,扫描。

由于无摩擦运动,不会形成任何颗粒,这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。

三相转矩电机

无刷

低齿槽转矩

配件和选件

增量或编码器

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器

多轴/自定义设置

用花岗岩制成的底板和减少振动的系统


2.A-63x PIglide RL带有空气轴承的平面旋转平台

无摩擦,电动

产品总览

PIglide RL系列的直接驱动式薄型旋转位移台采用薄型设计,可实现的精度。可以组合使用各种选项,以创建理想的解决方案,以实现点对点索引或恒速扫描。RL位移台提供的行程精度,平坦度和摆动性能。

值编码器(可选)

值编码器提供明确的位置信息,从而可以立即确置。这意味着在接通过程中不需要引用,从而提高了操作过程中的效率和安全性。

应用领域

光学对准,晶圆检查,晶圆对准,测量技术,检查系统,校准,扫描。

由于无摩擦运动,不会形成任何颗粒,这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。

三相转矩电机

无刷

无槽

低齿槽转矩

配件和选件

增量或编码器

真空馈通

在静止状态下通过电磁预载自锁

根据要求清除光圈

PIglide过滤器和空气制备套件

单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器

多轴/自定义设置

用花岗岩制成的底板和减少振动的系统


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