STACIS®4商用主动隔振系统，在2Hz以上消减95%的振动

面议

参数

主动隔振产品特性
TMC品牌
STACIS 4型号

发货地山东青岛 100天内发货供货总量1套

青岛森泉光电有限公司 5年: 进入店铺在线咨询

thorlabs预配置积分球用于光源测量和反射测量 ¥30000.00

siskiyou DT-130系列燕尾台，快速位移台和精调位移台面议

Wavelength References 单模流通池（FCS）进口面议

Wavelength References 光谱仪或FTIR气体流通池（FCM）面议

Clarity锁频激光器：1312nm，1530nm，1542nm标准配置面议

ClarityPlus可调谐激光器，C 波段台式激光器面议

产品详情

概述

STACIS®4是进的商用主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与***的压电作动器。STACIS 可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球***半导体制造商中的九家所使用。

起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。

STACIS 4包括***改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的***的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。

STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了***的控制算法和新的***技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense™***技术相结合时，STACIS 4在2hz时可减少40 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少xx。下面包括STACIS 4的完整性能规格。

STACIS 4的优点：

由于刚性百倍优于其它的气垫式减振器，STACIS 没有一般气垫式减振器所面临的稳定性与过大位移的缺陷。与气垫式减振器不同的是，STACIS能很好地与设备内部已有的气垫减振系统兼容，使得两个系统各自发挥功效，优化减振效果。

STACIS系统使用独特的串联式设计与高压压电技术，能在0.35赫兹到150赫兹的宽频内有效提供主动消振，并且在2赫兹以上消减95%的振动。

比STACIS III更好的振动控制

与行业标准解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了40 dB以上。

稳定的串联设计允许使得您安装后即可忘记它，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。

STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少4个VC等级的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。