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产品规格及参数
型号/规格参数 | SMU-4030EA | |
工 作 台 | X/Y轴行程 | 400mm ╳ 300mm |
Z轴行程 | 调焦行程200mm，工作距离90mm | |
大理石 台面尺寸 | 560mm ╳ 460mm | |
玻璃台面尺寸 | 450mm ╳ 350mm | |
传动型式 | X/Y轴：采用高精度交叉传动导轨，精密光杆； Z轴：采用直线导轨，精密丝杆； 进口轴承 | |
光学尺分辨率(mm) | X/Y/Z轴：0.001 | |
测量线性精度(μm) | ≤3+L/200 | |
重复性精度(μm) | ≤3 | |
驱动电机 | 高性能CNC伺服系统 | |
摄像机 | 1/3″高清彩色工业相机 | |
测量软件 | 自主研发软件，编程操作简单，易上手 （测量数据可按客户报表格式导出或导入MES、QMS系统） | |
镜头 | 全自动变倍镜头 光学放大倍率0.7-4.5X 影像放大倍率20-128X | |
可选配 | 同轴光、探针、镭射头 | |
0.5X物镜、2X物镜 | ||
光源系统 | 表面光源：为八区LED冷光源、寿命长、亮度可分区调节 | |
底光源：LED白色冷光源、寿命长、亮度可调 | ||
仪器外形尺寸（L*W*H） | 1050mm ╳ 820mm ╳ 1650mm | |
仪器重量 | 250kg | |
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