二手日光光驰OTFC-1300 OTFC-1550 OTFC-1800光学镀膜机/离子蒸发电镀机介绍
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
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真空室尺寸:Φ600-1800mm
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60点/80点式光学膜厚监控
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使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
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搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
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利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
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工件架可选择钟罩式或行星式
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排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格
设备名称 | OTFC-1800CBI/DBI |
真空室 | SUS304, φ1800mm×1920mm (H) |
工件架 | φ1600mm |
工件架转速 | 10rpm to 30rpm(可变) |
光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪 |
石英晶振膜厚计 | XTC/3+6点式石英晶体传感器 |
蒸发源 | 电子枪2套 |
离子源 | 23cmRF离子源 |
排气系统 | 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵) |
性能
达到压力 | 7.0×10-5 Pa 以下 |
排气时间 | 20分(大气压~1.3×10-3 Pa) |
基板温度 | :350℃ |
工作条件
设备尺寸 | 约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H) |
电源 | 3相, 200V, 50/60Hz, 约150kVA |
水流量 | 180升/分以上 |
空气压力 | 0.5MPa以上 |
重量 | 约11200kg |
二手日光光驰OTFC-1300 OTFC-1550 OTFC-1800光学镀膜机/离子蒸发电镀机照片
公司介绍
东莞市宏诚光学制品有限公司(简称宏诚光学)创立于2010年,公司主要从事光掩膜基版(匀胶铬版)、掩膜图形版、光学码盘的研发、生产与销售,主要应用于半导体芯片、平板显示、触控、电路板等光学行业,下游如消费电子(如电视、手机、笔记本电脑、平板电脑、可穿戴设备)、车载电子、人工智能、网络通信、家用电器、LED照明、工控电子等领域。
凭借***的技术水平、严格的质量管理、独特的营销模式、完善的售后服务使公司成为一家集生产、销售、技术研发、工艺创新为一体的新型企业,2016年荣获广东省首批高新技术企业。
公司将致力于光掩模基版从微米级到纳米级跨越性突破,使高端市场逐渐国产化,为半导体产业贡献一份力量。