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二手日本光驰OTFC-1300 OTFC-1550 OTFC-1800光学镀膜机/离子蒸发电镀机

参数
  • 精度高产品特性
  • 是否进口
  • 日本产地
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东莞市宏诚光学制品有限公司
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产品详情

二手日光光驰OTFC-1300  OTFC-1550 OTFC-1800光学镀膜机/离子蒸发电镀机介绍

OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。

真空室尺寸:Φ600-1800mm

60点/80点式光学膜厚监控

使用均匀分布的高离子电流密度的离子源

搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上

利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

工件架可选择钟罩式或行星式

排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

规格

设备名称

OTFC-1800CBI/DBI

真空室

SUS304, φ1800mm×1920mm (H)

工件架

φ1600mm

工件架转速

10rpm to 30rpm(可变)

光学膜厚控制

HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式或透射式

石英晶振膜厚计

XTC/3+6点式石英晶体传感器

蒸发源

电子枪2套

离子源

23cmRF离子源

排气系统

机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)

 

性能

达到压力

7.0×10-5 Pa 以下

排气时间

20分(大气压~1.3×10-3 Pa)

基板温度

:350℃

 

工作条件

设备尺寸

约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)

电源

3相, 200V, 50/60Hz, 约150kVA

水流量

180升/分以上

空气压力

0.5MPa以上

重量

约11200kg

 二手日光光驰OTFC-1300  OTFC-1550 OTFC-1800光学镀膜机/离子蒸发电镀机照片












公司介绍

 东莞市宏诚光学制品有限公司(简称宏诚光学)创立于2010年,公司主要从事光掩膜基版(匀胶铬版)、掩膜图形版、光学码盘的研发、生产与销售,主要应用于半导体芯片、平板显示、触控、电路板等光学行业,下游如消费电子(如电视、手机、笔记本电脑、平板电脑、可穿戴设备)、车载电子、人工智能、网络通信、家用电器、LED照明、工控电子等领域。      

凭借***的技术水平、严格的质量管理、独特的营销模式、完善的售后服务使公司成为一家集生产、销售、技术研发、工艺创新为一体的新型企业,2016年荣获广东省首批高新技术企业。

公司将致力于光掩模基版从微米级到纳米级跨越性突破,使高端市场逐渐国产化,为半导体产业贡献一份力量。




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