·提供清洁无油真空环境
没有润滑油与密封水,没有返油与水蒸汽,被抽系统清洁、干净;没有喷油,不污染环境。
·压力范围宽、极限真空度高、能快速到达极限真空
从大气到极限真空的宽压力范围内工作稳定;极限真空度达1Pa;能快速到达极限真空;能耗变化小,适合重复快速启动。
·低噪音、低振动、低温升
抽气、压缩、排气过程稳定进行,脉动小,噪音与振动***;运动机构、密封材料性能优异、结构独特,温升***。
·高效率、节省能源、节省空间
进气口、排气口互相隔绝,气腔被有效密封,泄漏、返流小;结构紧凑,体积小、重量轻,更加高效、节能、节省空间。
详细参数图如下;