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高效过滤器检漏常用的仪器有：尘埃粒子计数器和5c气溶胶发生器。尘埃粒子计数器用于测量洁净环境中单位体积空气内的尘埃粒子大小及数目，可直接检测洁净度等级为十级至三十万级的洁净环境。体积小、重量轻、检测精度高、功能操作简单明了，微处理器控制，可贮存、打印测量结果，测试洁净环境十分便利。5c 气溶胶发生器tda-5c气溶胶发生器能产生一致的多种直径分布的气溶胶粒子，tda-5c气溶胶发生器与tda-2g或tda-2h等气溶胶光度计配合使用时能提供足够的挑战粒子去测量高效过滤系统。
空气过滤器的原型是人们为保护呼吸而使用的呼吸保护器具。据记载，早在一世纪的罗马，凡们在提纯水银的时候就用粗麻制成的面具进行保护在此之后的漫长时间里．空气过滤器也取得了进展，但其主要是作为呼吸保护器具用于一些危险的行业，如有害化学品的生产。l827年布朋发现了微小粒子的运动规律，使人们对空气过滤的机理有了进一步的认识。空气过滤器的迅速发展是与电子工业的发展紧密相关的50年代，美国对玻璃纤维过滤纸的生产工艺进行了深入的研究，使空气过滤器得到了改善和发展。60年代，hepa过滤器问世；70年代，采用微细玻璃纤维过滤纸作为过滤介质的hepa过滤器，对d．3微米粒径的粒子过滤效***达99．9998。八十年代以来，随着新的测试方法的出现、使用评价的提高及对过滤性能要求的提高，发现he—pa过滤器存在着严重的问题，于是又产生了性能更高的ulpa过滤器。目前，各国仍在努力研究，估计不久就会出现更***的空气过滤器。
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