光刻机冷却循环装置常见系统故障
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光刻机冷却循环水装置常见故障知识说明
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光刻机用低温冷水机组故障原因与排除
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光刻机用冷水机组的安装要求有哪些
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光刻机温度控制装置安装注意事项
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工业光刻机冷却系统冷水机开机停机事项
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| 型号 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 温度范围 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 温控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 温度转换时间 | -25℃ to 150℃ 约10S 150℃to -25℃ 约20s | -45℃ to 150℃ 约10S 150℃to -45℃ 约20s | -55℃ to 150℃ 约10S 150℃to -55℃ 约15s | -70℃ to 150℃ 约10S 150℃to -70℃ 约20s | -80℃ to 150℃ 约11S 150℃to -80℃ 约20s | |
| 空气要求 | 空气滤清器<5um 空气含油量:<0.1ppm 空气温湿度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空气处理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 压力5bar～7.6bar | |||||
| 系统压力显示 | 制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压） 循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西门子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 温度控制 | 控制出风口温度 | |||||
| 可编程 | 可编制10条程序，每条程序可编制10段步骤 | |||||
| 通信协议 | 以太网接口TCP/IP协议 | |||||
| 设备内部温度反馈 | 设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有） | |||||
| 温度反馈 | T型温度传感器 | |||||
| 压缩机 | 法国泰康/艾默生 | |||||
| 蒸发器 | 套管式换热器 | |||||
| 加热器 | 法兰式桶状加热器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀） | |||||
| 操作面板 | 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出 | |||||
| 安全防护 | 具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。 | |||||
| 制冷剂 | 冠亚混合制冷剂 | |||||
| 外接保温软管 | 方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（风）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 风冷型 | 采用铜管铝翅片冷凝方式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机 | |||||
| 水冷型 W | 带W型号为水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式换热器（务必确保冷却水清洁） | |||||
| 冷却水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 电源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 电源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑 （标准颜色7035） | |||||
| 温度扩展 | 高温到 +300℃ | |||||
紫外蚀刻机配的冷水机发生堵塞主要是节流阀产生冰堵或油堵，或干燥过滤器脏堵。紫外蚀刻机配的冷水机堵塞以后，由于制冷剂无法循环，使压缩机长期运转不停，箱内不制冷或制冷慢，冷凝器不热，下面详细介绍一下关于紫外蚀刻机配的冷水机发生堵塞的解决方案的具体内容。
冰堵产生的原因和故障现象
冰堵故障的发生主要是由于紫外蚀刻机配的冷水机内含有过量的水分，随着制冷剂的不断循环，紫外蚀刻机配的冷水机中的水分逐渐在膨胀阀出口处集中，由于膨胀阀出口处温度低，水结成了冰且逐渐变大，到一定的程度就将膨胀阀完全堵塞，制冷剂不能循环，不制冷。
紫外蚀刻机配的冷水机出现冰堵的表现是初阶段工作正常，蒸发器内结霜，冷凝器散热，机组运行平稳，蒸发器内制冷剂活动声清晰稳定。随着冰堵的形成，可听见气流逐渐变弱、时断时续，堵塞严重时气流声消失，制冷剂循环中断，冷凝器逐渐变凉。
紫外蚀刻机配的冷水机发生冰堵故障，是因为系统内有过量的水分，因此须对整个紫外蚀刻机配的冷水机进行干燥处理。
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