UL300O Fab (ULTRA) 可移动式氦气检漏仪
始终***一步***检漏仪
长久以来,INFICON泄漏检测技术一直是高性能和易用性方面的***。UL3000 Fab有着当今市场上极快的泄漏检测速度,可提供用户体验。UL3000 Fab专为满足半导体制造领域的专业要求而开发,如半导体和光电显示(包括子部件)的泄漏测试。
低的运行和维护成本
维护费用低,使用寿命长:
·坚实耐用的真空系统
·加固的离子源,长达三年保修期
易于进入应用区域
·小型和坚实的结构,稳定和良好的移动性
·重心低,易搬运
·大胶轮,易于翻越障码物
易操作,分析和备份测量结果
·触模显示可为用户提供直观指导
·现代的菜单结构
·可旋转的全彩色高分辨显示器
·用通过Wi-Fi在移动设备上实现遥控
·数据存储能力
·用U盘输出数据(有访问控制)
典型的应用
■INFICON 检漏仪日常用于大型半导体生产中
■各种过程工艺包括:刻蚀.CVD,PVD,真空炉,离子注入,MOCVD,太阳能,FPD 等
■工艺维护后快速确认工艺的完整性和应修复的漏孔部位
■在次级生产中的真空管线和泵
■气柜和复杂的气体输送管线
■生产设施和治理
附件直接配置在设备上
■氮气瓶座在检漏仪上
■真空软管架在设备上
■附件在可锁的贮物格内
易检测大漏孔
可非常快地检测大漏孔,由于不再需要等待系统抽空。这得益于:
■大漏检测功能(专用的泵/阀组功能)
您的泄漏检测解决方案专家
INFICON可为高度专业化行业中要求极为苛刻的真空过程提供***的测量和传感器技术及过程管理服务。特别是在制冷和空调技术,半导体制造和汽车生产等领域,INFICON的气体泄漏检测产品有着广泛应用。
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