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英福康UL3000 Fab (ULTRA) 可移动式氦气检漏仪

参数
  • 检漏仪产品特性
  • 是否进口
  • 加工定制
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上海利布迪半导体技术有限公司
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UL300O Fab (ULTRA) 可移动式氦气检漏仪

始终***一步***检漏仪

长久以来,INFICON泄漏检测技术一直是高性能和易用性方面的***。UL3000 Fab有着当今市场上极快的泄漏检测速度,可提供用户体验。UL3000 Fab专为满足半导体制造领域的专业要求而开发,如半导体和光电显示(包括子部件)的泄漏测试。


低的运行和维护成本

维护费用低,使用寿命长:

·坚实耐用的真空系统

·加固的离子源,长达三年保修期



易于进入应用区域

·小型和坚实的结构,稳定和良好的移动性

·重心低,易搬运

·大胶轮,易于翻越障码物



易操作,分析和备份测量结果

·触模显示可为用户提供直观指导

·现代的菜单结构

·可旋转的全彩色高分辨显示器

·用通过Wi-Fi在移动设备上实现遥控

·数据存储能力

·用U盘输出数据(有访问控制)



典型的应用

■INFICON 检漏仪日常用于大型半导体生产中

■各种过程工艺包括:刻蚀.CVD,PVD,真空炉,离子注入,MOCVD,太阳能,FPD 等

■工艺维护后快速确认工艺的完整性和应修复的漏孔部位

■在次级生产中的真空管线和泵

■气柜和复杂的气体输送管线

■生产设施和治理

 

附件直接配置在设备上

■氮气瓶座在检漏仪上

■真空软管架在设备上

■附件在可锁的贮物格内

 

易检测大漏孔

可非常快地检测大漏孔,由于不再需要等待系统抽空。这得益于:

■大漏检测功能(专用的泵/阀组功能)





您的泄漏检测解决方案专家

INFICON可为高度专业化行业中要求极为苛刻的真空过程提供***的测量和传感器技术及过程管理服务。特别是在制冷和空调技术,半导体制造和汽车生产等领域,INFICON的气体泄漏检测产品有着广泛应用。

有INFICON 在您的身边,您就有了一个专家顾问,他对您所在行业所面对的挑战了如指掌,可与您一同找出适合您需求的解决方案。INFICON 的众多分公司遍布全球,专家专业***,确保提供最的服务和最到位的支持。INFICON 不但在美国和欧洲建有技术***的制造工厂,而且在中国,中国台湾,法国,德国,日本,韩国,列支敦士登,新加坡,瑞士,英国和美国设有分公司。

 

如果您有需要或者想更多的了解产品,欢迎您打电话咨询,下单前询价哦,欢迎您的来电!


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