设备特点:
超短脉冲飞秒激光器;
精度高的三/四/五轴平台;
热效应小,热扩散小;
自动定位,软件自动校正
切割面整齐、无毛刺、无碳化
激光设备优点:
飞秒冷却激光:飞秒冷却去除,无热作用,多种材料加工灵活性好,对材料无旋转性。
激光切割无应力:物质遇光升华,无需接触,直接打断材料分子键使作用区域材料瞬间电离,在微观尺度下进行材料去除,免除应力破坏困扰。
热影响准确控制:根据不同的热影响要求,选择适合的光源,配合适合的激光加工参数,zui大限度降低热影响;
洁净加工:激光加工过程中实时进行激光烟尘处理,经过除尘过滤将有害物质、异味或是微尘过滤,达到可排大气要求。
技术参数
激光器 | 355/532/1064nm |
振镜 | CTI/瑞镭 |
加工幅面 | 350*350mm(可定制) |
平台移动速度 | ≤1000mm/s |
X、Y定位精度 | ±3um |
X、Y重复定位精度 | ±2um |
CCD定位精度 | ±3um @130万像素 |
zui大切割厚度 | 0.5mm |
综合切割精度 | ≤±10um |
上下料方式 | 手动/自动 |
行业应用
适用于超薄金属铜箔、铝箔、不锈钢箔、镍合金箔等材料微细精细无损加工,以及柔性PI、PET、玻璃、硅片基材精细激光划线、刻槽、刻蚀等精细加工。可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,如通孔、盲孔、异型孔、微腔、型腔、异型槽,该设备适合于各类精细制孔、超精细切割、无碳化刻蚀等。
贵金属精细激光加工
检测导电薄膜的切割
高分子材料精细加工
硅片、玻璃材料的精细加工
样品展示
微流道激光钻孔 孔径尺寸Φ0.07mm*深0.3mm,内孔粗糙度Ra ≤0.4um,3D内孔加工(内部倒圆角),上孔边缘无热影响区、无塌陷区。