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半导体材料气体检测仪XPS-7II
传感器单元可根据气体更换，一个单元可检测各种半导体材料气体。
利用
用于半导体工厂等使用有毒气体的场所的气体泄漏检查和浓度测量。
特征
- 传感器单元可根据气体更换，一个单元可检测各种半导体材料气体。
- 由于它是盒式传感器单元，因此无需校准气体检测器，从而减少了维护时间和成本。
- 支持NF3检测。支持NF3检测的世界上最小的便携式吸入式气体检测仪。
- 重量仅为 1.3 kg 的紧凑轻量型。
- 由于气体浓度的变化，警报声（断断续续的声音）的速度逐渐变化，当浓度变高时，通知连续的声音，便于识别气体泄漏的位置。
规格
模型 | XPS-7II |
待测气体 | 半导体材料气体 |
气体空气采样法 | 自动吸式 |
检测原理 | 恒电位电解型 |
检测范围 | 取决于规格 |
分辨率 * 1 | 满量程的 1/100 或 1/200 显示 |
指令精度*2 | FS ± 10% 以内 |
报警方式 | 蜂鸣器（断断续续的声音），警报灯闪烁 |
响应时间 | 60 秒内（60% 响应） |
工作温度限制 | 0℃～+40℃ |
电源 | 4 节 AA 碱性电池或 AC 专用适配器（可选） |
连续使用时间*3 | 使用碱性电池时：12小时以上*4（无报警时，20℃） |
外形尺寸 | W62 x H150 x D128 毫米（不包括突出部分） |
重量 | 约1.3公斤 |
标准配件 | 肩带、4 节 AA 碱性电池、2 个滤芯 |
选项 * 5 | AC专用适配器（AC100V-240V / DC6V）、传感器专用通电支架、日志数据采集套件 |
* 1 满量程因气体种类而异。
* 2 基于相同的测量条件。
* 3 可能因环境条件、使用条件、储存期限、电池制造商等而异。
* 4 安装 NF3 传感器单元需要 8 小时或***时间。
* 5 AC 专用适配器和日志数据采集套件传感器专用通电支架不受 CE 约束。
***气体
Alcin [AsH3]、氨 [NH3]、一氧化碳 [CO]、一氧化氮 [NO]、氯化氢 [HCI]、氯 [Cl2]、臭氧 [O3]、三氟化氯 [ClF3]、二氯硅烷 [SiH2Cl2]、乙硅烷[Si2H6]、乙硼烷 [B2H6]、溴化氢 [HBr]、硒氢 [H2Se]、二氧化硫 [SO2]、二氧化氮 [NO2]、半导体材料气体、氟化氢 [HF]、氟 [F2]、Hosphin [ PH3]、单体 [GeH4]、甲硅烷 [SiH4]、硫化氢 [H2S]、三氟化氮 [NF3H2S]
在线问
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- XPS-7II
- 否
- XPS-7II
- 日本新宇宙
- XPS-7II
- 便携式
- 取决于规格
- 半导体材料有毒气体
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- W62 x H150 x D128
- 1.3
- 4 节 AA 碱性电池或 AC 专用适配器（可选）
- 否
