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供应半导体行业高纯氨气纯化器

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苏州辰诺气体设备有限公司
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氨气纯化设备      

高纯氨气作为一种重要的特种气体,广泛应用于电子、化工、冶金、钢铁等工业方面的研究和生产中。在电子工业中,高纯氨是不可缺少的原材料之一。它主要用于LED外延工艺、集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器光导纤维、渗氮热处理等领域 
氨气纯化原理
   氨气纯化是利用分子筛吸附原理,深度干燥液氨,从而获得露点低于-60℃纯净的氨气。 

氨气中水份的脱除主要采用的是选择吸附的原理,一切固体物质表面都有一种不饱和力场,其作用范围相当于分子直径大小。因此对于接触固体物质的表面的气体分子具有一定的吸附作用。只有多孔物质具有很大的内表面积,才有明显的吸附效应。对于氨气中水份的吸附主要采用物理吸附的方式。在一定的温度下,解吸速度等于吸附速度时,达到吸附平衡。 
    氨气纯化装置采用了吸附干燥工艺。来自液氨储存系统的氨气,进入干燥器,被干燥器中的3A分子筛吸附,从而获得露点低于-60℃纯净的氨气。由于分子筛经过一定时间的使用后会饱和,因此必须对分子筛再生,再生时把分子筛加热到250℃以上,同时通入少量氮气,使分子筛脱附的水汽被再生气带走,再生后的分子筛经冷却后可重复使用。 

氨气纯化设备吸附干燥装置由二只干燥器和德国宝德的电磁阀、山明气动阀组成,两只干燥器全自动控制切换,干燥器一只工作时另一只再生,以达到24小时不间断运行。 

氨气纯化特点: 
    1全自动运行、实现无人值守; 
    2、气体指标稳定杂质含量低;
    3全不锈钢材质、安全防爆
    4独特的放空洗氨气装置,实现放空无氨味。

氨气纯化技术参数:  
    量:5--1000m³/h
露    点:≤-60℃ 
氨气纯度:≥99.995% 
出口压力:0.1-0.3Mpa可调 

  量:<1ppm

根据客户工艺要求氨气纯化器还可加装除氧装置、深度除油装置等 


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