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电子净化工程净化原理光学微电子净化工程结构材料：
净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
地面可采用自流坪地坪或***耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。
送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。
为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量,以300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300X2.5X30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300X2.5X20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。
净化车间蒸汽喷射式制冷装置
蒸汽喷射式制冷装置也是利用热能进行制冷的一种设备，以水为制冷剂，以蒸汽为制冷动力。蒸汽的压力要求0.2—0.8MPa，其主要优点有：设备在真空下工作，除泵以外，无转动件;制冷剂为水，对人无害，使用安全，操作简单;设备简单，容易制造，一般机械工厂或机修车间都可加工制造;设备一次投资小，而且可以安装在室外，节省土建费用;可利用工业企业中的废热或工业企业中的采暖锅炉，冬季供热采暖，夏季供汽制冷。
蒸汽喷射制冷的主要缺点是效率较低，设置专用锅炉和利用小型采暖锅炉供汽是不经济的。冷冻水温在5℃以上时可以采用，在100℃以上时比较经济。其效率随冷冻水温度变化，冷冻水温度越低，消耗蒸汽量越大，效率越低。此外，冷却水量很大，单机制冷量相同条件下，蒸汽喷射式制冷机所需冷却水是为压缩式或溴化悝吸收式的1.5倍左右，这对于水源紧张的地区是不宜采用的。
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